অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা (ইউএইচপি) গ্যাসগুলি সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের প্রাণবন্ত। বৈশ্বিক সরবরাহ চেইনগুলিতে অভূতপূর্ব চাহিদা এবং বাধাগুলি অতি উচ্চ চাপের গ্যাসের দাম বাড়িয়ে দেওয়ার কারণে, নতুন অর্ধপরিবাহী নকশা এবং উত্পাদন অনুশীলনগুলি প্রয়োজনীয় দূষণ নিয়ন্ত্রণের স্তরকে বাড়িয়ে তুলছে। অর্ধপরিবাহী নির্মাতাদের জন্য, ইউএইচপি গ্যাসের বিশুদ্ধতা নিশ্চিত করতে সক্ষম হওয়া আগের চেয়ে বেশি গুরুত্বপূর্ণ।

আল্ট্রা উচ্চ বিশুদ্ধতা (ইউএইচপি) গ্যাসগুলি আধুনিক অর্ধপরিবাহী উত্পাদন ক্ষেত্রে একেবারে সমালোচিত

ইউএইচপি গ্যাসের অন্যতম প্রধান অ্যাপ্লিকেশন হ'ল অনার্টিজেশন: ইউএইচপি গ্যাস সেমিকন্ডাক্টর উপাদানগুলির চারপাশে একটি প্রতিরক্ষামূলক পরিবেশ সরবরাহ করতে ব্যবহৃত হয়, যার ফলে তাদের বায়ুমণ্ডলে আর্দ্রতা, অক্সিজেন এবং অন্যান্য দূষকগুলির ক্ষতিকারক প্রভাব থেকে রক্ষা করে। যাইহোক, নিষ্ক্রিয়করণ হ'ল সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে গ্যাসগুলি সম্পাদন করে এমন অনেকগুলি বিভিন্ন ফাংশনগুলির মধ্যে একটি। প্রাথমিক প্লাজমা গ্যাস থেকে শুরু করে এচিং এবং অ্যানিলিংয়ে ব্যবহৃত প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসগুলিতে, অতি-উচ্চ চাপের গ্যাসগুলি বিভিন্ন উদ্দেশ্যে ব্যবহৃত হয় এবং অর্ধপরিবাহী সরবরাহ চেইন জুড়ে প্রয়োজনীয়।

সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের কয়েকটি "কোর" গ্যাসের মধ্যে রয়েছেনাইট্রোজেন(একটি সাধারণ পরিষ্কার এবং জড় গ্যাস হিসাবে ব্যবহৃত),আর্গন(এচিং এবং জমা দেওয়ার প্রতিক্রিয়াতে প্রাথমিক প্লাজমা গ্যাস হিসাবে ব্যবহৃত),হিলিয়াম(বিশেষ তাপ-স্থানান্তর বৈশিষ্ট্য সহ একটি জড় গ্যাস হিসাবে ব্যবহৃত) এবংহাইড্রোজেন(অ্যানিলিং, ডিপোজিশন, এপিট্যাক্সি এবং প্লাজমা পরিষ্কারে একাধিক ভূমিকা পালন করে)।

যেমন অর্ধপরিবাহী প্রযুক্তি বিকশিত হয়েছে এবং পরিবর্তিত হয়েছে, তেমনি উত্পাদন প্রক্রিয়াতে গ্যাসগুলি ব্যবহার করা হয়েছে। আজ, অর্ধপরিবাহী উত্পাদনকারী উদ্ভিদগুলি যেমন মহৎ গ্যাসগুলি থেকে বিস্তৃত গ্যাস ব্যবহার করেক্রিপটনএবংনিওনপ্রতিক্রিয়াশীল প্রজাতির যেমন নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড (এনএফ 3) এবং টুংস্টেন হেক্সাফ্লুওরাইড (ডাব্লুএফ 6)।

বিশুদ্ধতার জন্য ক্রমবর্ধমান চাহিদা

প্রথম বাণিজ্যিক মাইক্রোচিপ আবিষ্কারের পর থেকে, বিশ্ব সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসের পারফরম্যান্সে একটি বিস্ময়কর নিকটবর্তী-বিস্তৃত বৃদ্ধি প্রত্যক্ষ করেছে। গত পাঁচ বছরে, এই ধরণের পারফরম্যান্সের উন্নতি অর্জনের অন্যতম নিশ্চিত উপায় হ'ল "সাইজ স্কেলিং" এর মাধ্যমে: একটি নির্দিষ্ট জায়গায় আরও ট্রানজিস্টরগুলি চেপে ধরার জন্য বিদ্যমান চিপ আর্কিটেকচারের মূল মাত্রা হ্রাস করা। এগুলি ছাড়াও, নতুন চিপ আর্কিটেকচারের বিকাশ এবং কাটিয়া-এজ উপকরণগুলির ব্যবহার ডিভাইসের পারফরম্যান্সে লাফিয়ে উঠেছে।

আজ, কাটিয়া-এজ সেমিকন্ডাক্টরগুলির সমালোচনামূলক মাত্রাগুলি এখন এত ছোট যে আকারের স্কেলিং এখন ডিভাইসের কার্যকারিতা উন্নত করার কোনও কার্যকর উপায় নয়। পরিবর্তে, অর্ধপরিবাহী গবেষকরা উপন্যাসের উপকরণ এবং 3 ডি চিপ আর্কিটেকচার আকারে সমাধানগুলি সন্ধান করছেন।

দশকের দশকের অক্লান্ত পুনরায় নকশার অর্থ আজকের অর্ধপরিবাহী ডিভাইসগুলি পুরানো মাইক্রোচিপগুলির চেয়ে অনেক বেশি শক্তিশালী - তবে সেগুলি আরও ভঙ্গুরও। 300 মিমি ওয়েফার বানোয়াট প্রযুক্তির আবির্ভাব অর্ধপরিবাহী উত্পাদন জন্য প্রয়োজনীয় অপরিষ্কার নিয়ন্ত্রণের স্তর বৃদ্ধি করেছে। এমনকি একটি উত্পাদন প্রক্রিয়াতে সামান্যতম দূষণ (বিশেষত বিরল বা জড় গ্যাস) বিপর্যয়কর সরঞ্জামের ব্যর্থতার দিকে পরিচালিত করতে পারে - সুতরাং গ্যাস বিশুদ্ধতা এখন আগের চেয়ে বেশি গুরুত্বপূর্ণ।

একটি সাধারণ সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন প্ল্যান্টের জন্য, সিলিকনের পরে অতি-উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাস ইতিমধ্যে বৃহত্তম উপাদান ব্যয়। এই ব্যয়গুলি কেবলমাত্র অর্ধপরিবাহীদের চাহিদা নতুন উচ্চতায় পৌঁছানোর চাহিদা বাড়বে বলে আশা করা হচ্ছে। ইউরোপের ঘটনাগুলি উত্তেজনাপূর্ণ অতি-উচ্চ চাপ প্রাকৃতিক গ্যাস বাজারে অতিরিক্ত বাধা সৃষ্টি করেছে। ইউক্রেন বিশ্বের অন্যতম বৃহত্তম রফতানিকারী উচ্চ বিদায়ীনিওনলক্ষণ; রাশিয়ার আগ্রাসনের অর্থ বিরল গ্যাস সরবরাহ সীমাবদ্ধ। এর ফলে ঘাটতি এবং অন্যান্য মহৎ গ্যাসের উচ্চতর দামের দিকে পরিচালিত হয়ক্রিপটনএবংজেনন.