হাইড্রোজেন ক্লোরাইডএকটি তীব্র গন্ধযুক্ত একটি বর্ণহীন গ্যাস। এর জলীয় দ্রবণকে হাইড্রোক্লোরিক অ্যাসিড বলা হয়, এটি হাইড্রোক্লোরিক অ্যাসিড নামেও পরিচিত। হাইড্রোজেন ক্লোরাইড পানিতে খুব দ্রবণীয়। 0 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেডে, 1 ভলিউম জল প্রায় 500 ভলিউম হাইড্রোজেন ক্লোরাইড দ্রবীভূত করতে পারে।

এটিতে নিম্নলিখিত বৈশিষ্ট্য এবং বৈশিষ্ট্য রয়েছে:

1। উচ্চ বিশুদ্ধতা

বৈদ্যুতিন গ্রেডের বিশুদ্ধতাহাইড্রোজেন ক্লোরাইডঅর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রক্রিয়াতে কোনও অমেধ্য প্রবর্তন না করা নিশ্চিত করার জন্য সাধারণত পিপিএম বা নিম্ন স্তরে খুব বেশি থাকে।

2। জড়তা

এটি একটি রাসায়নিকভাবে জড় গ্যাস যা অন্যান্য অনেক পদার্থের সাথে প্রতিক্রিয়া দেখায় না, যা অর্ধপরিবাহী উপকরণ এবং সরঞ্জামগুলির দূষণ রোধে খুব গুরুত্বপূর্ণ।

3। উচ্চ স্থায়িত্ব

বৈদ্যুতিন গ্রেডহাইড্রোজেন ক্লোরাইডনির্ভরযোগ্য অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াজাতকরণ নিশ্চিত করতে সাধারণত স্থিতিশীল রসায়ন থাকে।

সেমিকন্ডাক্টর প্রসেসিংয়ে, বৈদ্যুতিন গ্রেড হাইড্রোজেন ক্লোরাইডের প্রধান অ্যাপ্লিকেশনগুলির মধ্যে রয়েছে:

1। পৃষ্ঠতল পরিষ্কার এবং প্রস্তুতি

একটি দক্ষ পৃষ্ঠতল ক্লিনার হিসাবে, বৈদ্যুতিন গ্রেডহাইড্রোজেন ক্লোরাইডএপিট্যাক্সিয়াল স্তর বা ফিল্মের গুণমান এবং বিশুদ্ধতা নিশ্চিত করতে সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠ থেকে অক্সাইড এবং অমেধ্যগুলি অপসারণ করতে ব্যবহৃত হয়।

2.পিটাক্সিয়াল বৃদ্ধি সহায়তা

এপিট্যাক্সিয়াল প্রক্রিয়াতে পৃষ্ঠতল চিকিত্সা এজেন্ট হিসাবে ব্যবহৃত, এটি এপিট্যাক্সিয়াল স্তরটির গুণমান উন্নত করতে, জালির মিলের উন্নতি করতে এবং জালির ত্রুটিগুলির গঠন হ্রাস করতে সহায়তা করে।

3। সাবস্ট্রেট প্রিট্রেটমেন্ট

সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসগুলির প্রস্তুতির আগে বৈদ্যুতিন গ্রেডহাইড্রোজেন ক্লোরাইডএপিট্যাক্সিয়াল স্তর এবং স্তরটির মধ্যে সংযুক্তি উন্নত করতে একটি স্থিতিশীল বেস তৈরি করতে সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠের চিকিত্সার জন্য ব্যবহার করা যেতে পারে।

4। ডিপোজিশন সহায়ক এজেন্ট

রাসায়নিক বাষ্প ডিপোজিশন (সিভিডি) বা শারীরিক বাষ্প ডিপোজিশন (পিভিডি) এর প্রক্রিয়াতে, বৈদ্যুতিন গ্রেড হাইড্রোজেন ক্লোরাইড অর্ধপরিবাহী উপকরণগুলির জবানবন্দিতে অংশ নিতে একটি গ্যাস ফেজ ট্রান্সফার মাধ্যম হিসাবে ব্যবহার করা যেতে পারে।

5 .. গ্যাস-ফেজ ট্রান্সফার এজেন্ট

গ্যাস-ফেজ ট্রান্সফার এজেন্ট হিসাবে, অন্যান্য বায়বীয় পূর্ববর্তীগুলি উপাদানটির জমার হার এবং অভিন্নতা সামঞ্জস্য করতে সহায়তা করার জন্য প্রতিক্রিয়া চেম্বারে প্রবর্তিত হয়।

এই বৈশিষ্ট্যগুলি বৈদ্যুতিন গ্রেড তৈরি করেহাইড্রোজেন ক্লোরাইডসেমিকন্ডাক্টর প্রযুক্তিতে একটি গুরুত্বপূর্ণ প্রসেসিং এজেন্ট, যা চূড়ান্ত ডিভাইসের কার্যকারিতা এবং নির্ভরযোগ্যতার উপর মূল প্রভাব ফেলে।

সেমিকন্ডাক্টর প্রসেসিংয়ে এর ব্যবহারের পাশাপাশি, বৈদ্যুতিন গ্রেড হাইড্রোজেন ক্লোরাইড অন্যান্য ক্ষেত্রে বিভিন্ন ব্যবহার খুঁজে পেতে পারে, যার মধ্যে রয়েছে: উচ্চ বিশুদ্ধতা উপকরণ, জ্বালানী কোষ, অর্ধপরিবাহী উপাদান বৃদ্ধি, বাষ্প ফেজ লিথোগ্রাফি, উপাদান বিশ্লেষণ, রাসায়নিক গবেষণা।

সাধারণভাবে, বৈদ্যুতিন গ্রেডহাইড্রোজেন ক্লোরাইডএকটি বহুমুখী, উচ্চ বিশুদ্ধতা গ্যাস যা সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনের বাইরে বিস্তৃত অ্যাপ্লিকেশন রয়েছে।