হাইড্রোজেন ক্লোরাইডএটি একটি বর্ণহীন গ্যাস যার তীব্র গন্ধ থাকে। এর জলীয় দ্রবণকে হাইড্রোক্লোরিক অ্যাসিড বলা হয়, যা হাইড্রোক্লোরিক অ্যাসিড নামেও পরিচিত। হাইড্রোজেন ক্লোরাইড পানিতে খুব দ্রবণীয়। ০° সেলসিয়াসে, ১ আয়তন পানি প্রায় ৫০০ আয়তন হাইড্রোজেন ক্লোরাইড দ্রবীভূত করতে পারে।

এর নিম্নলিখিত বৈশিষ্ট্য এবং বৈশিষ্ট্য রয়েছে:

1. উচ্চ বিশুদ্ধতা

ইলেকট্রনিক গ্রেডের বিশুদ্ধতাহাইড্রোজেন ক্লোরাইডসেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন প্রক্রিয়ায় কোনও অমেধ্য প্রবেশ না করানো নিশ্চিত করার জন্য, সাধারণত পিপিএম বা তার চেয়ে কম স্তরে, এটি অত্যন্ত উচ্চ।

2. জড়তা

এটি একটি রাসায়নিকভাবে নিষ্ক্রিয় গ্যাস যা অন্যান্য অনেক পদার্থের সাথে বিক্রিয়া করে না, যা অর্ধপরিবাহী উপকরণ এবং সরঞ্জামের দূষণ রোধ করার জন্য খুবই গুরুত্বপূর্ণ।

3. উচ্চ স্থায়িত্ব

ইলেকট্রনিক গ্রেডহাইড্রোজেন ক্লোরাইডনির্ভরযোগ্য অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াকরণ নিশ্চিত করার জন্য সাধারণত স্থিতিশীল রসায়ন থাকে।

সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণে, ইলেকট্রনিক গ্রেড হাইড্রোজেন ক্লোরাইডের প্রধান প্রয়োগগুলির মধ্যে রয়েছে:

১. পৃষ্ঠ পরিষ্কার এবং প্রস্তুতি

একটি দক্ষ পৃষ্ঠ পরিষ্কারক হিসেবে, ইলেকট্রনিক গ্রেডহাইড্রোজেন ক্লোরাইডএপিট্যাক্সিয়াল স্তর বা ফিল্মের গুণমান এবং বিশুদ্ধতা নিশ্চিত করার জন্য সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠ থেকে অক্সাইড এবং অমেধ্য অপসারণ করতে ব্যবহৃত হয়।

২. এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধি সহায়তা

এপিট্যাক্সিয়াল প্রক্রিয়ায় পৃষ্ঠ চিকিত্সা এজেন্ট হিসাবে ব্যবহৃত, এটি এপিট্যাক্সিয়াল স্তরের গুণমান উন্নত করতে, জালির মিল উন্নত করতে এবং জালির ত্রুটির গঠন কমাতে সহায়তা করে।

৩. সাবস্ট্রেট প্রিট্রিটমেন্ট

সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস তৈরির আগে, ইলেকট্রনিক গ্রেডহাইড্রোজেন ক্লোরাইডএপিট্যাক্সিয়াল স্তর এবং সাবস্ট্রেটের মধ্যে আনুগত্য উন্নত করার জন্য একটি স্থিতিশীল ভিত্তি তৈরি করতে সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠের চিকিৎসা করতে ব্যবহার করা যেতে পারে।

৪. সহায়ক এজেন্ট জমা করা

রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) বা ভৌত বাষ্প জমা (PVD) প্রক্রিয়ায়, ইলেকট্রনিক গ্রেড হাইড্রোজেন ক্লোরাইডকে অর্ধপরিবাহী পদার্থের জমা বিক্রিয়ায় অংশগ্রহণের জন্য গ্যাস ফেজ স্থানান্তর মাধ্যম হিসেবে ব্যবহার করা যেতে পারে।

৫. গ্যাস-ফেজ ট্রান্সফার এজেন্ট

গ্যাস-ফেজ স্থানান্তর এজেন্ট হিসেবে, অন্যান্য গ্যাসীয় পূর্বসূরীদের বিক্রিয়া চেম্বারে প্রবেশ করানো হয় যাতে পদার্থের জমার হার এবং অভিন্নতা সামঞ্জস্য করা যায়।

এই বৈশিষ্ট্যগুলি ইলেকট্রনিক গ্রেড তৈরি করেহাইড্রোজেন ক্লোরাইডসেমিকন্ডাক্টর প্রযুক্তিতে একটি গুরুত্বপূর্ণ প্রক্রিয়াকরণ এজেন্ট, যা চূড়ান্ত ডিভাইসের কর্মক্ষমতা এবং নির্ভরযোগ্যতার উপর একটি গুরুত্বপূর্ণ প্রভাব ফেলে।

সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণে এর ব্যবহারের পাশাপাশি, ইলেকট্রনিক গ্রেড হাইড্রোজেন ক্লোরাইড অন্যান্য ক্ষেত্রেও বিভিন্ন ধরণের ব্যবহার খুঁজে পেতে পারে, যার মধ্যে রয়েছে: উচ্চ বিশুদ্ধতা উপকরণ প্রস্তুতকরণ, জ্বালানি কোষ, সেমিকন্ডাক্টর উপাদান বৃদ্ধি, বাষ্প পর্যায় লিথোগ্রাফি, উপাদান বিশ্লেষণ, রাসায়নিক গবেষণা।

সাধারণভাবে, ইলেকট্রনিক গ্রেডহাইড্রোজেন ক্লোরাইডএকটি বহুমুখী, উচ্চ বিশুদ্ধতা গ্যাস যার সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের বাইরেও বিস্তৃত প্রয়োগ রয়েছে।