তুলনামূলকভাবে উন্নত উত্পাদন প্রক্রিয়া সহ সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার ফাউন্ড্রিগুলির উত্পাদন প্রক্রিয়াতে, প্রায় 50 টি বিভিন্ন ধরণের গ্যাসের প্রয়োজন হয়। গ্যাস সাধারণত বাল্ক গ্যাস এবং বিভক্ত করা হয়বিশেষ গ্যাস.

মাইক্রোইলেক্ট্রনিক্স এবং সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে গ্যাসের প্রয়োগ সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়ায় গ্যাসের ব্যবহার সবসময়ই গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করেছে, বিশেষ করে সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াগুলি বিভিন্ন শিল্পে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। ULSI, TFT-LCD থেকে বর্তমান মাইক্রো-ইলেক্ট্রোমেকানিক্যাল (MEMS) শিল্পে, সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াগুলি পণ্য উত্পাদন প্রক্রিয়া হিসাবে ব্যবহৃত হয়, যার মধ্যে রয়েছে শুকনো এচিং, অক্সিডেশন, আয়ন ইমপ্লান্টেশন, পাতলা ফিল্ম জমা ইত্যাদি।

উদাহরণস্বরূপ, অনেকে জানেন যে চিপগুলি বালি দিয়ে তৈরি, তবে চিপ তৈরির সম্পূর্ণ প্রক্রিয়াটি দেখলে আরও উপাদানের প্রয়োজন হয়, যেমন ফটোরসিস্ট, পলিশিং লিকুইড, লক্ষ্য উপাদান, বিশেষ গ্যাস ইত্যাদি অপরিহার্য। ব্যাক-এন্ড প্যাকেজিংয়ের জন্য বিভিন্ন উপকরণের সাবস্ট্রেট, ইন্টারপোজার, সীসা ফ্রেম, বন্ধন সামগ্রী ইত্যাদিরও প্রয়োজন হয়। সিলিকন ওয়েফারের পর সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন খরচের ক্ষেত্রে ইলেকট্রনিক বিশেষ গ্যাস হল দ্বিতীয় বৃহত্তম উপাদান, তারপরে মুখোশ এবং ফটোরেসিস্ট।

গ্যাসের বিশুদ্ধতা উপাদানের কার্যকারিতা এবং পণ্যের ফলনের উপর একটি সিদ্ধান্তমূলক প্রভাব ফেলে এবং গ্যাস সরবরাহের নিরাপত্তা কর্মীদের স্বাস্থ্য এবং কারখানার অপারেশনের নিরাপত্তার সাথে সম্পর্কিত। কেন গ্যাসের বিশুদ্ধতা প্রক্রিয়া লাইন এবং কর্মীদের উপর এত বড় প্রভাব ফেলে? এটি একটি অতিরঞ্জন নয়, তবে গ্যাসের বিপজ্জনক বৈশিষ্ট্য দ্বারা নির্ধারিত হয়।

সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে সাধারণ গ্যাসের শ্রেণীবিভাগ

সাধারণ গ্যাস

সাধারণ গ্যাসকে বাল্ক গ্যাসও বলা হয়: এটি 5N এর চেয়ে কম বিশুদ্ধতা এবং একটি বড় উত্পাদন এবং বিক্রয় পরিমাণ সহ শিল্প গ্যাসকে বোঝায়। এটি বিভিন্ন প্রস্তুতির পদ্ধতি অনুযায়ী বায়ু বিচ্ছেদ গ্যাস এবং সিন্থেটিক গ্যাসে বিভক্ত করা যেতে পারে। হাইড্রোজেন (H2), নাইট্রোজেন (N2), অক্সিজেন (O2), আর্গন (A2), ইত্যাদি;

বিশেষায়িত গ্যাস

বিশেষায়িত গ্যাস বলতে শিল্প গ্যাসকে বোঝায় যা নির্দিষ্ট ক্ষেত্রে ব্যবহৃত হয় এবং বিশুদ্ধতা, বৈচিত্র্য এবং বৈশিষ্ট্যের জন্য বিশেষ প্রয়োজনীয়তা রয়েছে। প্রধানতSiH4, PH3, B2H6, A8H3,এইচসিএল, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… এবং তাই

স্পেশাল গ্যাসের প্রকারভেদ

বিশেষ গ্যাসের প্রকার: ক্ষয়কারী, বিষাক্ত, দাহ্য, জ্বলন-সমর্থক, জড় ইত্যাদি।
সাধারণত ব্যবহৃত সেমিকন্ডাক্টর গ্যাসগুলি নিম্নরূপ শ্রেণীবদ্ধ করা হয়:
(i) ক্ষয়কারী/বিষাক্ত:HCl、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2,NH3,PH3,Cl2,BCl3…
(ii) দাহ্য: H2,CH4,SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2,B2H6、CH2F2,CH3F,CO…
(iii) দাহ্য: O2、Cl2、N2O、NF3…
(iv) জড়: N2,CF4,C2F6,C4F8,SF6CO2,Ne,Kr, সে…

সেমিকন্ডাক্টর চিপ তৈরির প্রক্রিয়ায়, প্রায় 50টি বিভিন্ন ধরণের বিশেষ গ্যাস (বিশেষ গ্যাস হিসাবে উল্লেখ করা হয়) অক্সিডেশন, ডিফিউশন, ডিপোজিশন, এচিং, ইনজেকশন, ফটোলিথোগ্রাফি এবং অন্যান্য প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত হয় এবং মোট প্রক্রিয়ার ধাপ শত শত ছাড়িয়ে যায়। উদাহরণস্বরূপ, PH3 এবং AsH3 আয়ন ইমপ্লান্টেশন প্রক্রিয়ায় ফসফরাস এবং আর্সেনিক উত্স হিসাবে ব্যবহৃত হয়, F-ভিত্তিক গ্যাসগুলি CF4, CHF3, SF6 এবং হ্যালোজেন গ্যাসগুলি CI2, BCI3, HBr সাধারণত এচিং প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত হয়, SiH4, NH3, N2O ইন জমা ফিল্ম প্রক্রিয়া, F2/Kr/Ne, Kr/Ne মধ্যে ফটোলিথোগ্রাফি প্রক্রিয়া।

উপরের দিকগুলো থেকে আমরা বুঝতে পারি যে অনেক অর্ধপরিবাহী গ্যাস মানবদেহের জন্য ক্ষতিকর। বিশেষ করে, কিছু গ্যাস যেমন SiH4 স্ব-প্রজ্বলিত হয়। যতক্ষণ তারা ফুটো হবে, তারা বাতাসে অক্সিজেনের সাথে হিংস্রভাবে প্রতিক্রিয়া করবে এবং জ্বলতে শুরু করবে; এবং AsH3 অত্যন্ত বিষাক্ত। যে কোনও সামান্য ফুটো মানুষের জীবনের ক্ষতির কারণ হতে পারে, তাই বিশেষ গ্যাস ব্যবহারের জন্য কন্ট্রোল সিস্টেম ডিজাইনের সুরক্ষার প্রয়োজনীয়তা বিশেষভাবে বেশি।

সেমিকন্ডাক্টরদের "তিন ডিগ্রি" থাকার জন্য উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাসের প্রয়োজন হয়

গ্যাস বিশুদ্ধতা

গ্যাসে অশুদ্ধ বায়ুমণ্ডলের বিষয়বস্তু সাধারণত গ্যাসের বিশুদ্ধতার শতাংশ হিসাবে প্রকাশ করা হয়, যেমন 99.9999%। সাধারণভাবে বলতে গেলে, ইলেকট্রনিক বিশেষ গ্যাসের বিশুদ্ধতার প্রয়োজনীয়তা 5N-6N-এ পৌঁছায়, এবং এটি অপরিষ্কার বায়ুমণ্ডলের উপাদান ppm (পার্ট প্রতি মিলিয়ন), ppb (পার্ট পার বিলিয়ন), এবং ppt (পার্ট প্রতি ট্রিলিয়ন) এর ভলিউম অনুপাত দ্বারা প্রকাশ করা হয়। বৈদ্যুতিন অর্ধপরিবাহী ক্ষেত্রের বিশেষ গ্যাসের বিশুদ্ধতা এবং গুণমানের স্থায়িত্বের জন্য সর্বোচ্চ প্রয়োজনীয়তা রয়েছে এবং ইলেকট্রনিক বিশেষ গ্যাসের বিশুদ্ধতা সাধারণত 6N এর চেয়ে বেশি।

শুষ্কতা

গ্যাসের ট্রেস জলের বিষয়বস্তু, বা আর্দ্রতা, সাধারণত শিশির বিন্দুতে প্রকাশ করা হয়, যেমন বায়ুমণ্ডলীয় শিশির বিন্দু -70℃।

পরিচ্ছন্নতা

গ্যাসে দূষক কণার সংখ্যা, µm কণার আকারের কণা, কত কণা/M3 দ্বারা প্রকাশ করা হয়। সংকুচিত বাতাসের জন্য, এটি সাধারণত অনিবার্য কঠিন অবশিষ্টাংশের mg/m3 তে প্রকাশ করা হয়, যার মধ্যে তেলের উপাদান রয়েছে।