তুলনামূলকভাবে উন্নত উত্পাদন প্রক্রিয়া সহ সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার ফাউন্ড্রিগুলির উত্পাদন প্রক্রিয়াতে, প্রায় 50 টি বিভিন্ন ধরণের গ্যাস প্রয়োজন। গ্যাসগুলি সাধারণত বাল্ক গ্যাসগুলিতে বিভক্ত হয় এবংবিশেষ গ্যাস.

মাইক্রো ইলেক্ট্রনিক্স এবং সেমিকন্ডাক্টর ইন্ডাস্ট্রিজগুলিতে গ্যাসের প্রয়োগ গ্যাসের ব্যবহার সর্বদা সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াগুলিতে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে, বিশেষত অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াগুলি বিভিন্ন শিল্পে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। ইউএলসি, টিএফটি-এলসিডি থেকে বর্তমান মাইক্রো-ইলেক্ট্রোমেকানিকাল (এমইএমএস) শিল্পে, অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াগুলি শুকনো এচিং, জারণ, আয়ন ইমপ্লান্টেশন, পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশন ইত্যাদি সহ পণ্য উত্পাদন প্রক্রিয়া হিসাবে ব্যবহৃত হয়

উদাহরণস্বরূপ, অনেক লোক জানেন যে চিপগুলি বালু দিয়ে তৈরি, তবে চিপ উত্পাদন পুরো প্রক্রিয়াটি দেখে আরও বেশি উপকরণ প্রয়োজন যেমন ফোটোরিস্ট, পলিশিং তরল, লক্ষ্য উপাদান, বিশেষ গ্যাস ইত্যাদি অপরিহার্য। ব্যাক-এন্ড প্যাকেজিংয়ের জন্য বিভিন্ন উপকরণের স্তরগুলি, ইন্টারপোজার, সীসা ফ্রেম, বন্ধন উপকরণ ইত্যাদি প্রয়োজন। সিলিকন ওয়েফারগুলির পরে সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন ব্যয়ের ক্ষেত্রে বৈদ্যুতিন বিশেষ গ্যাসগুলি দ্বিতীয় বৃহত্তম উপাদান, তারপরে মুখোশ এবং ফোটোরিস্টস।

গ্যাসের বিশুদ্ধতার উপাদানগুলির কার্যকারিতা এবং পণ্য ফলনের উপর একটি সিদ্ধান্তমূলক প্রভাব রয়েছে এবং গ্যাস সরবরাহের সুরক্ষা কর্মীদের স্বাস্থ্য এবং কারখানার অপারেশনের সুরক্ষার সাথে সম্পর্কিত। প্রক্রিয়া লাইন এবং কর্মীদের উপর কেন গ্যাসের বিশুদ্ধতা এত দুর্দান্ত প্রভাব ফেলে? এটি কোনও অতিরঞ্জিত নয়, তবে এটি গ্যাসের বিপজ্জনক বৈশিষ্ট্য দ্বারা নির্ধারিত হয়।

অর্ধপরিবাহী শিল্পে সাধারণ গ্যাসের শ্রেণিবিন্যাস

সাধারণ গ্যাস

সাধারণ গ্যাসকে বাল্ক গ্যাসও বলা হয়: এটি শিল্প গ্যাসকে 5n এর চেয়ে কম এবং একটি বৃহত উত্পাদন এবং বিক্রয় পরিমাণের সাথে বিশুদ্ধতার প্রয়োজনীয়তা বোঝায়। এটি বিভিন্ন প্রস্তুতি পদ্ধতি অনুসারে বায়ু বিচ্ছেদ গ্যাস এবং সিন্থেটিক গ্যাসে বিভক্ত করা যেতে পারে। হাইড্রোজেন (এইচ 2), নাইট্রোজেন (এন 2), অক্সিজেন (ও 2), আর্গন (এ 2) ইত্যাদি;

বিশেষ গ্যাস

বিশেষ গ্যাসটি এমন শিল্প গ্যাসকে বোঝায় যা নির্দিষ্ট ক্ষেত্রে ব্যবহৃত হয় এবং বিশুদ্ধতা, বিভিন্নতা এবং বৈশিষ্ট্যগুলির জন্য বিশেষ প্রয়োজনীয়তা রয়েছে। মূলতএসআইএইচ 4, পিএইচ 3, বি 2 এইচ 6, এ 8 এইচ 3,এইচসিএল, সিএফ 4,এনএইচ 3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,এনএইচ 3, বিসিএল 3, সিআইএফ 4, সিএলএফ 3, সিও, সি 2 এফ 6, এন 2 ও, এফ 2, এইচএফ, এইচবিআর,এসএফ 6… এবং তাই।

স্পিশিয়াল গ্যাসের ধরণ

বিশেষ গ্যাসের ধরণ: ক্ষয়কারী, বিষাক্ত, জ্বলনযোগ্য, দহন-সমর্থন, জড় ইত্যাদি ইত্যাদি
সাধারণত ব্যবহৃত অর্ধপরিবাহী গ্যাসগুলি নিম্নলিখিত হিসাবে শ্রেণিবদ্ধ করা হয়:
(i) ক্ষয়কারী/বিষাক্ত:এইচসিএল、 বিএফ 3 、 ডাব্লুএফ 6 、 এইচবিআর 、 সিআইএইচ 2 সিএল 2 、 এনএইচ 3 、 পিএইচ 3 、 সিএল 2 、বিসিএল 3…
(ii) জ্বলনযোগ্য: এইচ 2 、সিএইচ 4、এসআইএইচ 4、 PH3 、 ASH3 、 SIH2CL2 、 B2H6 、 CH2F2 、 CH3F 、 CO…
(iii) দহনযোগ্য: ও 2 、 সিএল 2 、 এন 2 ও 、 এনএফ 3…
(iv) জড়: এন 2 、সিএফ 4、 C2F6 、সি 4 এফ 8、এসএফ 6、 CO2 、Ne、Kr、 তিনি…

সেমিকন্ডাক্টর চিপ উত্পাদন প্রক্রিয়াতে, প্রায় 50 টি বিভিন্ন ধরণের বিশেষ গ্যাস (বিশেষ গ্যাস হিসাবে পরিচিত) জারণ, প্রসারণ, জবানবন্দি, এচিং, ইনজেকশন, ফটোলিথোগ্রাফি এবং অন্যান্য প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত হয় এবং মোট প্রক্রিয়া পদক্ষেপগুলি শত শত ছাড়িয়ে যায়। উদাহরণস্বরূপ, পিএইচ 3 এবং এএসএইচ 3 আয়ন ইমপ্লান্টেশন প্রক্রিয়া, এফ-ভিত্তিক গ্যাস সিএফ 4, সিএফ 3, এসএফ 6 এবং হ্যালোজেন গ্যাসস সিআই 2, বিসিআই 3, এইচবিআর সাধারণত এচিং প্রক্রিয়াতে, সিআইএইচ 4, এনএইচ 3, এন 2 ও, এফ 2/পিএইচটি/পিএইচটি/পিএইচটি/পিইওএল-এ, এফ 2/পিইওএল, এফ 2/পিইওএল-তে ব্যবহৃত হয়।

উপরের দিকগুলি থেকে, আমরা বুঝতে পারি যে অনেক অর্ধপরিবাহী গ্যাস মানবদেহের জন্য ক্ষতিকারক। বিশেষত, সিআইএইচ 4 এর মতো কয়েকটি গ্যাস স্ব-দানা। যতক্ষণ তারা ফাঁস হয় ততক্ষণ তারা বাতাসে অক্সিজেনের সাথে সহিংসভাবে প্রতিক্রিয়া জানাবে এবং জ্বলতে শুরু করবে; এবং অ্যাশ 3 অত্যন্ত বিষাক্ত। যে কোনও সামান্য ফুটো মানুষের জীবনকে ক্ষতি করতে পারে, তাই বিশেষ গ্যাস ব্যবহারের জন্য নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা ডিজাইনের সুরক্ষার জন্য প্রয়োজনীয়তাগুলি বিশেষত বেশি।

সেমিকন্ডাক্টরগুলির "তিন ডিগ্রি" থাকতে উচ্চ-বুদ্ধি গ্যাসের প্রয়োজন হয়

গ্যাস বিশুদ্ধতা

গ্যাসে অপরিষ্কার পরিবেশের বিষয়বস্তু সাধারণত গ্যাস বিশুদ্ধতার শতাংশ হিসাবে প্রকাশ করা হয়, যেমন 99.9999%। সাধারণভাবে বলতে গেলে, বৈদ্যুতিন বিশেষ গ্যাসগুলির জন্য বিশুদ্ধতার প্রয়োজনীয়তা 5n-6n এ পৌঁছায় এবং এটি অপরিষ্কার বায়ুমণ্ডল সামগ্রীর পিপিএম (প্রতি মিলিয়ন অংশ), পিপিবি (প্রতি বিলিয়ন অংশ) এবং পিপিটি (প্রতি ট্রিলিয়ন অংশ) এর ভলিউম অনুপাত দ্বারাও প্রকাশ করা হয়। বৈদ্যুতিন সেমিকন্ডাক্টর ক্ষেত্রের বিশেষ গ্যাসগুলির বিশুদ্ধতা এবং গুণমানের স্থিতিশীলতার জন্য সর্বোচ্চ প্রয়োজনীয়তা রয়েছে এবং বৈদ্যুতিন বিশেষ গ্যাসগুলির বিশুদ্ধতা সাধারণত 6n ​​এর চেয়ে বেশি হয়।

শুষ্কতা

গ্যাসের ট্রেস জলের সামগ্রী বা আর্দ্রতা সাধারণত শিশির পয়েন্টে যেমন বায়ুমণ্ডলীয় শিশির পয়েন্ট -70 ℃ হিসাবে প্রকাশ করা হয় ℃

পরিচ্ছন্নতা

গ্যাসে দূষণকারী কণার সংখ্যা, µm এর একটি কণার আকারের কণাগুলি কতগুলি কণা/এম 3 এ প্রকাশ করা হয়। সংকুচিত বাতাসের জন্য, এটি সাধারণত অনিবার্য শক্ত অবশিষ্টাংশের এমজি/এম 3 এ প্রকাশিত হয়, যার মধ্যে তেলের সামগ্রী অন্তর্ভুক্ত থাকে।