তুলনামূলকভাবে উন্নত উৎপাদন প্রক্রিয়া সম্পন্ন সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার ফাউন্ড্রিগুলির উৎপাদন প্রক্রিয়ায়, প্রায় ৫০টি বিভিন্ন ধরণের গ্যাসের প্রয়োজন হয়। গ্যাসগুলিকে সাধারণত বাল্ক গ্যাসে ভাগ করা হয় এবংবিশেষ গ্যাস.

মাইক্রোইলেকট্রনিক্স এবং সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে গ্যাসের প্রয়োগ সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াগুলিতে গ্যাসের ব্যবহার সর্বদা গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে আসছে, বিশেষ করে সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াগুলি বিভিন্ন শিল্পে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। ULSI, TFT-LCD থেকে শুরু করে বর্তমান মাইক্রো-ইলেকট্রোমেকানিক্যাল (MEMS) শিল্প পর্যন্ত, সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াগুলি পণ্য উৎপাদন প্রক্রিয়া হিসাবে ব্যবহৃত হয়, যার মধ্যে রয়েছে ড্রাই এচিং, জারণ, আয়ন ইমপ্লান্টেশন, পাতলা ফিল্ম জমা ইত্যাদি।

উদাহরণস্বরূপ, অনেকেই জানেন যে চিপগুলি বালি দিয়ে তৈরি, কিন্তু চিপ তৈরির পুরো প্রক্রিয়াটি দেখলে, আরও উপকরণের প্রয়োজন হয়, যেমন ফটোরেজিস্ট, পলিশিং তরল, লক্ষ্য উপাদান, বিশেষ গ্যাস ইত্যাদি অপরিহার্য। ব্যাক-এন্ড প্যাকেজিংয়ের জন্য বিভিন্ন উপকরণের সাবস্ট্রেট, ইন্টারপোজার, সীসা ফ্রেম, বন্ধন উপকরণ ইত্যাদিরও প্রয়োজন হয়। সিলিকন ওয়েফারের পরে সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন খরচের ক্ষেত্রে ইলেকট্রনিক বিশেষ গ্যাসগুলি দ্বিতীয় বৃহত্তম উপাদান, তারপরে মাস্ক এবং ফটোরেজিস্ট।

গ্যাসের বিশুদ্ধতা উপাদানের কর্মক্ষমতা এবং পণ্যের উৎপাদনের উপর একটি নির্ধারক প্রভাব ফেলে এবং গ্যাস সরবরাহের নিরাপত্তা কর্মীদের স্বাস্থ্য এবং কারখানা পরিচালনার নিরাপত্তার সাথে সম্পর্কিত। গ্যাসের বিশুদ্ধতা প্রক্রিয়া লাইন এবং কর্মীদের উপর এত বড় প্রভাব ফেলে কেন? এটি অতিরঞ্জিত নয়, বরং গ্যাসের বিপজ্জনক বৈশিষ্ট্য দ্বারা নির্ধারিত হয়।

অর্ধপরিবাহী শিল্পে সাধারণ গ্যাসের শ্রেণীবিভাগ

সাধারণ গ্যাস

সাধারণ গ্যাসকে বাল্ক গ্যাসও বলা হয়: এটি এমন শিল্প গ্যাসকে বোঝায় যার বিশুদ্ধতার প্রয়োজনীয়তা 5N এর কম এবং উৎপাদন ও বিক্রয়ের পরিমাণ বেশি। বিভিন্ন প্রস্তুতি পদ্ধতি অনুসারে এটিকে বায়ু বিচ্ছেদ গ্যাস এবং সিন্থেটিক গ্যাসে ভাগ করা যেতে পারে। হাইড্রোজেন (H2), নাইট্রোজেন (N2), অক্সিজেন (O2), আর্গন (A2), ইত্যাদি;

স্পেশালিটি গ্যাস

বিশেষ গ্যাস বলতে শিল্প গ্যাসকে বোঝায় যা নির্দিষ্ট ক্ষেত্রে ব্যবহৃত হয় এবং বিশুদ্ধতা, বৈচিত্র্য এবং বৈশিষ্ট্যের জন্য বিশেষ প্রয়োজনীয়তা রয়েছে। প্রধানতসিএইচ৪, PH3, B2H6, A8H3,এইচসিএল, সিএফ৪,NH3 সম্পর্কে, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3 সম্পর্কে, বিসিএল৩, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,এসএফ৬… ইত্যাদি।

স্পেশাল গ্যাসের প্রকারভেদ

বিশেষ গ্যাসের প্রকারভেদ: ক্ষয়কারী, বিষাক্ত, দাহ্য, দহন-সহায়ক, জড়, ইত্যাদি।
সাধারণত ব্যবহৃত অর্ধপরিবাহী গ্যাসগুলিকে নিম্নরূপে শ্রেণীবদ্ধ করা হয়:
(i) ক্ষয়কারী/বিষাক্ত:এইচসিএল、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、বিসিএল৩…
(ii) দাহ্য: H2,সিএইচ৪,সিএইচ৪、PH3、AsH3、SiH2Cl2,B2H6、CH2F2,CH3F,CO…
(iii) দাহ্য: O2, Cl2, N2O, NF3…
(iv) জড়: N2,সিএফ৪、সি২এফ৬、সি৪এফ৮,এসএফ৬、CO2、Ne,Kr,সে...

সেমিকন্ডাক্টর চিপ তৈরির প্রক্রিয়ায়, প্রায় ৫০টি বিভিন্ন ধরণের বিশেষ গ্যাস (যাকে বিশেষ গ্যাস বলা হয়) জারণ, প্রসারণ, জমা, খোদাই, ইনজেকশন, ফটোলিথোগ্রাফি এবং অন্যান্য প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত হয় এবং মোট প্রক্রিয়ার ধাপগুলি শতাধিক ছাড়িয়ে যায়। উদাহরণস্বরূপ, আয়ন ইমপ্লান্টেশন প্রক্রিয়ায় ফসফরাস এবং আর্সেনিক উৎস হিসেবে PH3 এবং AsH3 ব্যবহার করা হয়, F-ভিত্তিক গ্যাস CF4, CHF3, SF6 এবং হ্যালোজেন গ্যাস CI2, BCI3, HBr সাধারণত খোদাই প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত হয়, জমা ফিল্ম প্রক্রিয়ায় SiH4, NH3, N2O, ফটোলিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায় F2/Kr/Ne, Kr/Ne ব্যবহার করা হয়।

উপরের দিকগুলি থেকে আমরা বুঝতে পারি যে অনেক অর্ধপরিবাহী গ্যাস মানবদেহের জন্য ক্ষতিকারক। বিশেষ করে, কিছু গ্যাস, যেমন SiH4, স্ব-প্রজ্বলিত হয়। যতক্ষণ পর্যন্ত তারা লিক করে, ততক্ষণ তারা বাতাসে অক্সিজেনের সাথে তীব্র প্রতিক্রিয়া দেখাবে এবং জ্বলতে শুরু করবে; এবং AsH3 অত্যন্ত বিষাক্ত। যেকোনো সামান্য লিকেজ মানুষের জীবনের ক্ষতি করতে পারে, তাই বিশেষ গ্যাস ব্যবহারের জন্য নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থার নকশার সুরক্ষার প্রয়োজনীয়তা বিশেষভাবে বেশি।

সেমিকন্ডাক্টরগুলির জন্য "তিন ডিগ্রি" উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাসের প্রয়োজন হয়

গ্যাস বিশুদ্ধতা

গ্যাসে অপরিষ্কার বায়ুমণ্ডলের পরিমাণ সাধারণত গ্যাস বিশুদ্ধতার শতাংশ হিসাবে প্রকাশ করা হয়, যেমন 99.9999%। সাধারণভাবে বলতে গেলে, ইলেকট্রনিক বিশেষ গ্যাসের বিশুদ্ধতার প্রয়োজনীয়তা 5N-6N এ পৌঁছায় এবং অপরিষ্কার বায়ুমণ্ডলের পরিমাণ ppm (প্রতি মিলিয়ন অংশ), ppb (প্রতি বিলিয়ন অংশ) এবং ppt (প্রতি ট্রিলিয়ন অংশ) এর আয়তন অনুপাত দ্বারাও প্রকাশ করা হয়। ইলেকট্রনিক সেমিকন্ডাক্টর ক্ষেত্রে বিশেষ গ্যাসের বিশুদ্ধতা এবং গুণমান স্থিতিশীলতার জন্য সর্বোচ্চ প্রয়োজনীয়তা রয়েছে এবং ইলেকট্রনিক বিশেষ গ্যাসের বিশুদ্ধতা সাধারণত 6N এর বেশি হয়।

শুষ্কতা

গ্যাসে ট্রেস ওয়াটারের পরিমাণ, বা আর্দ্রতা, সাধারণত শিশির বিন্দুতে প্রকাশ করা হয়, যেমন বায়ুমণ্ডলীয় শিশির বিন্দু -70℃।

পরিচ্ছন্নতা

গ্যাসে দূষণকারী কণার সংখ্যা, µm কণার আকারের কণা, কত কণা/M3 দিয়ে প্রকাশ করা হয়। সংকুচিত বাতাসের জন্য, এটি সাধারণত অনিবার্য কঠিন অবশিষ্টাংশের mg/m3 দিয়ে প্রকাশ করা হয়, যার মধ্যে তেলের পরিমাণ অন্তর্ভুক্ত থাকে।