সাধারণ ফ্লোরিনযুক্ত বিশেষ ইলেকট্রনিক গ্যাসগুলির মধ্যে রয়েছেসালফার হেক্সাফ্লোরাইড (SF6), টাংস্টেন হেক্সাফ্লোরাইড (WF6),কার্বন টেট্রাফ্লোরাইড (CF4), ট্রাইফ্লুরোমিথেন (CHF3), নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড (NF3), হেক্সাফ্লুরোইথেন (C2F6) এবং অক্টাফ্লুরোপ্রোপেন (C3F8)।
ন্যানো প্রযুক্তির বিকাশ এবং ইলেকট্রনিক্স শিল্পের বৃহৎ আকারের বিকাশের সাথে সাথে এর চাহিদা দিন দিন বৃদ্ধি পাবে। প্যানেল এবং সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন ও প্রক্রিয়াকরণে একটি অপরিহার্য এবং সর্বাধিক ব্যবহৃত বিশেষ ইলেকট্রনিক গ্যাস হিসেবে নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইডের বাজার বিস্তৃত।
ফ্লোরিনযুক্ত এক ধরণের বিশেষ গ্যাস হিসেবে,নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড (NF3)এটি ইলেকট্রনিক বিশেষ গ্যাস পণ্য যার বাজার ক্ষমতা সবচেয়ে বেশি। এটি ঘরের তাপমাত্রায় রাসায়নিকভাবে নিষ্ক্রিয়, উচ্চ তাপমাত্রায় অক্সিজেনের চেয়ে বেশি সক্রিয়, ফ্লোরিনের চেয়ে বেশি স্থিতিশীল এবং পরিচালনা করা সহজ। নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড মূলত প্লাজমা এচিং গ্যাস এবং একটি প্রতিক্রিয়া চেম্বার পরিষ্কারক এজেন্ট হিসাবে ব্যবহৃত হয় এবং এটি সেমিকন্ডাক্টর চিপস, ফ্ল্যাট প্যানেল ডিসপ্লে, অপটিক্যাল ফাইবার, ফটোভোলটাইক কোষ ইত্যাদির উৎপাদন ক্ষেত্রের জন্য উপযুক্ত।
অন্যান্য ফ্লোরিনযুক্ত ইলেকট্রনিক গ্যাসের তুলনায়,নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইডএর সুবিধা হলো দ্রুত বিক্রিয়া এবং উচ্চ দক্ষতা। বিশেষ করে সিলিকন নাইট্রাইডের মতো সিলিকন-ধারণকারী উপকরণের এচিংয়ে, এর উচ্চ এচিং হার এবং নির্বাচনীতা রয়েছে, যা খোদাই করা বস্তুর পৃষ্ঠে কোনও অবশিষ্টাংশ রাখে না। এটি একটি খুব ভালো পরিষ্কারক এবং পৃষ্ঠে কোনও দূষণ নেই, যা প্রক্রিয়াকরণ প্রক্রিয়ার চাহিদা পূরণ করতে পারে।
পোস্টের সময়: সেপ্টেম্বর-১৪-২০২৪
