সাধারণ ফ্লোরিন-যুক্ত বিশেষ ইলেকট্রনিক গ্যাসগুলির মধ্যে রয়েছেসালফার হেক্সাফ্লুরাইড (SF6), টাংস্টেন হেক্সাফ্লোরাইড (WF6),কার্বন টেট্রাফ্লুরাইড (CF4)ট্রাইফ্লুরোমিথেন (CHF3), নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লুরাইড (NF3), হেক্সাফ্লুরোইথেন (C2F6) এবং অক্টাফ্লুরোপ্রোপেন (C3F8)।
ন্যানোপ্রযুক্তির বিকাশ এবং ইলেকট্রনিক্স শিল্পের ব্যাপক উন্নয়নের সাথে সাথে এর চাহিদা দিন দিন বাড়বে। প্যানেল এবং সেমিকন্ডাক্টরের উৎপাদন ও প্রক্রিয়াকরণে একটি অপরিহার্য এবং সর্বাধিক ব্যবহৃত বিশেষ ইলেকট্রনিক গ্যাস হিসেবে নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লুরাইডের একটি বিস্তৃত বাজার রয়েছে।
এক প্রকার ফ্লোরিনযুক্ত বিশেষ গ্যাস হিসেবে,নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লুরাইড (NF3)নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লুরাইড হলো সর্বাধিক বাজার চাহিদা সম্পন্ন ইলেকট্রনিক বিশেষ গ্যাস পণ্য। এটি সাধারণ তাপমাত্রায় রাসায়নিকভাবে নিষ্ক্রিয়, উচ্চ তাপমাত্রায় অক্সিজেনের চেয়ে বেশি সক্রিয়, ফ্লোরিনের চেয়ে বেশি স্থিতিশীল এবং এর ব্যবহার সহজ। নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লুরাইড প্রধানত প্লাজমা এচিং গ্যাস এবং রিঅ্যাকশন চেম্বার পরিষ্কারক হিসেবে ব্যবহৃত হয় এবং এটি সেমিকন্ডাক্টর চিপ, ফ্ল্যাট প্যানেল ডিসপ্লে, অপটিক্যাল ফাইবার, ফটোভোল্টাইক সেল ইত্যাদির মতো উৎপাদন ক্ষেত্রের জন্য উপযুক্ত।
অন্যান্য ফ্লোরিন-যুক্ত ইলেকট্রনিক গ্যাসের তুলনায়,নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লুরাইডএর দ্রুত প্রতিক্রিয়া এবং উচ্চ দক্ষতার সুবিধা রয়েছে। বিশেষ করে সিলিকন নাইট্রাইডের মতো সিলিকন-যুক্ত পদার্থের এচিং-এর ক্ষেত্রে, এর এচিং হার এবং নির্বাচন ক্ষমতা অনেক বেশি এবং এচিং করা বস্তুর পৃষ্ঠে কোনো অবশিষ্টাংশ থাকে না। এটি একটি খুব ভালো পরিষ্কারক পদার্থ এবং পৃষ্ঠতলে কোনো দূষণ ঘটায় না, যা প্রক্রিয়াকরণ পদ্ধতির চাহিদা পূরণ করতে পারে।
পোস্ট করার সময়: ১৪-সেপ্টেম্বর-২০২৪
