সর্বাধিক ব্যবহৃত বৈদ্যুতিন বিশেষ গ্যাস - নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড

সাধারণ ফ্লুরিনযুক্ত বিশেষ বৈদ্যুতিন গ্যাসগুলির অন্তর্ভুক্তসালফার হেক্সাফ্লুওরাইড (এসএফ 6), টুংস্টেন হেক্সাফ্লুওরাইড (ডাব্লুএফ 6),কার্বন টেট্রাফ্লুরাইড (সিএফ 4), ট্রাইফ্লুওরোমেথেন (সিএইচএফ 3), নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড (এনএফ 3), হেক্সাফ্লুওরোথেন (সি 2 এফ 6) এবং অক্টিফ্লোরোপ্রোপেন (সি 3 এফ 8)।

ন্যানো টেকনোলজির বিকাশ এবং ইলেকট্রনিক্স শিল্পের বৃহত আকারের বিকাশের সাথে সাথে এর চাহিদা দিন দিন বাড়বে। প্যানেল এবং সেমিকন্ডাক্টরগুলির উত্পাদন ও প্রক্রিয়াকরণে একটি অপরিহার্য এবং বৃহত্তম ব্যবহৃত বিশেষ বৈদ্যুতিন গ্যাস হিসাবে নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড, একটি বিস্তৃত বাজারের জায়গা রয়েছে।

এক ধরণের ফ্লুরিনযুক্ত বিশেষ গ্যাস হিসাবে,নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড (এনএফ 3)বৃহত্তম বাজার ক্ষমতা সহ বৈদ্যুতিন বিশেষ গ্যাস পণ্য। এটি ঘরের তাপমাত্রায় রাসায়নিকভাবে জড়, উচ্চ তাপমাত্রায় অক্সিজেনের চেয়ে বেশি সক্রিয়, ফ্লুরিনের চেয়ে বেশি স্থিতিশীল এবং পরিচালনা করা সহজ। নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড মূলত প্লাজমা এচিং গ্যাস এবং একটি প্রতিক্রিয়া চেম্বার ক্লিনিং এজেন্ট হিসাবে ব্যবহৃত হয় এবং এটি সেমিকন্ডাক্টর চিপস, ফ্ল্যাট প্যানেল প্রদর্শন, অপটিক্যাল ফাইবার, ফটোভোলটাইক কোষ ইত্যাদি উত্পাদন ক্ষেত্রগুলির জন্য উপযুক্ত

অন্যান্য ফ্লুরিনযুক্ত বৈদ্যুতিন গ্যাসের সাথে তুলনা করুন,নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইডদ্রুত প্রতিক্রিয়া এবং উচ্চ দক্ষতার সুবিধা রয়েছে। বিশেষত সিলিকন-সংযুক্ত উপকরণ যেমন সিলিকন নাইট্রাইডের এচিংয়ে এটির একটি উচ্চ এচিং হার এবং নির্বাচনযোগ্যতা রয়েছে, যা এচড অবজেক্টের পৃষ্ঠে কোনও অবশিষ্টাংশ ছাড়েনি। এটি একটি খুব ভাল পরিষ্কারের এজেন্ট এবং পৃষ্ঠের কোনও দূষণ নেই, যা প্রক্রিয়াজাতকরণ প্রক্রিয়াটির প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে পারে।