সর্বাধিক ব্যবহৃত বৈদ্যুতিন বিশেষ গ্যাস - নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লুরাইড

সাধারণ ফ্লোরিনযুক্ত বিশেষ ইলেকট্রনিক গ্যাস অন্তর্ভুক্তসালফার হেক্সাফ্লোরাইড (SF6), টাংস্টেন হেক্সাফ্লোরাইড (WF6),কার্বন টেট্রাফ্লোরাইড (CF4), trifluoromethane (CHF3), নাইট্রোজেন trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) এবং octafluoropropane (C3F8)।

ন্যানো প্রযুক্তির বিকাশ এবং ইলেকট্রনিক্স শিল্পের ব্যাপক বিকাশের সাথে সাথে এর চাহিদা দিন দিন বাড়বে। নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড, প্যানেল এবং সেমিকন্ডাক্টরগুলির উত্পাদন এবং প্রক্রিয়াকরণে একটি অপরিহার্য এবং সর্বাধিক ব্যবহৃত বিশেষ ইলেকট্রনিক গ্যাস হিসাবে, একটি বিস্তৃত বাজার স্থান রয়েছে।

এক প্রকার ফ্লোরিনযুক্ত বিশেষ গ্যাস হিসাবে,নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লুরাইড (NF3)সবচেয়ে বড় বাজার ক্ষমতা সঙ্গে ইলেকট্রনিক বিশেষ গ্যাস পণ্য. এটি ঘরের তাপমাত্রায় রাসায়নিকভাবে নিষ্ক্রিয়, উচ্চ তাপমাত্রায় অক্সিজেনের চেয়ে বেশি সক্রিয়, ফ্লোরিনের চেয়ে বেশি স্থিতিশীল এবং পরিচালনা করা সহজ। নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লুরাইড প্রধানত প্লাজমা এচিং গ্যাস এবং প্রতিক্রিয়া চেম্বার ক্লিনিং এজেন্ট হিসাবে ব্যবহৃত হয় এবং এটি সেমিকন্ডাক্টর চিপস, ফ্ল্যাট প্যানেল ডিসপ্লে, অপটিক্যাল ফাইবার, ফটোভোলটাইক সেল ইত্যাদির উত্পাদন ক্ষেত্রের জন্য উপযুক্ত।

অন্যান্য ফ্লোরিনযুক্ত ইলেকট্রনিক গ্যাসের তুলনায়,নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লুরাইডদ্রুত প্রতিক্রিয়া এবং উচ্চ দক্ষতার সুবিধা রয়েছে। বিশেষত সিলিকন নাইট্রাইডের মতো সিলিকন-ধারণকারী উপাদানের খোঁচায়, এটির উচ্চ খোঁচা হার এবং নির্বাচনযোগ্যতা রয়েছে, খোদাই করা বস্তুর পৃষ্ঠে কোনও অবশিষ্টাংশ অবশিষ্ট থাকে না। এটি একটি খুব ভাল ক্লিনিং এজেন্ট এবং পৃষ্ঠে কোন দূষণ নেই, যা প্রক্রিয়াকরণ প্রক্রিয়ার চাহিদা মেটাতে পারে।