টাংস্টেন হেক্সাফ্লোরাইড (WF6) একটি CVD প্রক্রিয়ার মাধ্যমে ওয়েফারের পৃষ্ঠে জমা হয়, যা ধাতব আন্তঃসংযোগ পরিখা পূরণ করে এবং স্তরগুলির মধ্যে ধাতব আন্তঃসংযোগ তৈরি করে।
প্রথমে প্লাজমা সম্পর্কে কথা বলা যাক। প্লাজমা হল পদার্থের একটি রূপ যা মূলত মুক্ত ইলেকট্রন এবং চার্জিত আয়ন দ্বারা গঠিত। এটি মহাবিশ্বে ব্যাপকভাবে বিদ্যমান এবং প্রায়শই এটিকে পদার্থের চতুর্থ অবস্থা হিসাবে বিবেচনা করা হয়। এটিকে প্লাজমা অবস্থা বলা হয়, যাকে "প্লাজমা"ও বলা হয়। প্লাজমার উচ্চ বৈদ্যুতিক পরিবাহিতা রয়েছে এবং এটি তড়িৎ চৌম্বকীয় ক্ষেত্রের সাথে একটি শক্তিশালী সংযোগ প্রভাব ফেলে। এটি একটি আংশিকভাবে আয়নিত গ্যাস, যা ইলেকট্রন, আয়ন, মুক্ত র্যাডিকেল, নিরপেক্ষ কণা এবং ফোটন দ্বারা গঠিত। প্লাজমা নিজেই একটি বৈদ্যুতিকভাবে নিরপেক্ষ মিশ্রণ যার মধ্যে শারীরিক এবং রাসায়নিকভাবে সক্রিয় কণা থাকে।
এর সহজ ব্যাখ্যা হলো, উচ্চ শক্তির প্রভাবে, অণুটি ভ্যান ডের ওয়ালস বল, রাসায়নিক বন্ধন বল এবং কুলম্ব বলকে অতিক্রম করবে এবং সামগ্রিকভাবে নিরপেক্ষ বিদ্যুৎ তৈরি করবে। একই সাথে, বাইরের শক্তি উপরের তিনটি বলকে অতিক্রম করবে। ফাংশন, ইলেকট্রন এবং আয়নগুলি একটি মুক্ত অবস্থা উপস্থাপন করে, যা চৌম্বক ক্ষেত্রের মড্যুলেশনের অধীনে কৃত্রিমভাবে ব্যবহার করা যেতে পারে, যেমন সেমিকন্ডাক্টর এচিং প্রক্রিয়া, সিভিডি প্রক্রিয়া, পিভিডি এবং আইএমপি প্রক্রিয়া।
উচ্চ শক্তি কী? তত্ত্ব অনুসারে, উচ্চ তাপমাত্রা এবং উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সি RF উভয়ই ব্যবহার করা যেতে পারে। সাধারণভাবে বলতে গেলে, উচ্চ তাপমাত্রা অর্জন করা প্রায় অসম্ভব। এই তাপমাত্রার প্রয়োজনীয়তা খুব বেশি এবং সূর্যের তাপমাত্রার কাছাকাছি হতে পারে। প্রক্রিয়াটিতে এটি অর্জন করা মূলত অসম্ভব। অতএব, শিল্প সাধারণত এটি অর্জনের জন্য উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি RF ব্যবহার করে। প্লাজমা RF 13MHz+ পর্যন্ত পৌঁছাতে পারে।
টাংস্টেন হেক্সাফ্লোরাইড একটি বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের ক্রিয়ায় প্লাজমায়াইজ করা হয় এবং তারপর চৌম্বক ক্ষেত্রের দ্বারা বাষ্পে পরিণত হয়। W পরমাণুগুলি শীতকালীন হংসের পালকের মতো এবং মাধ্যাকর্ষণের ক্রিয়ায় মাটিতে পড়ে। ধীরে ধীরে, W পরমাণুগুলি থ্রু গর্তে জমা হয় এবং অবশেষে ধাতব আন্তঃসংযোগ তৈরির জন্য সম্পূর্ণ গর্ত পূরণ করে। থ্রু গর্তে W পরমাণু জমা করার পাশাপাশি, কি সেগুলি ওয়েফারের পৃষ্ঠেও জমা হবে? হ্যাঁ, অবশ্যই। সাধারণভাবে বলতে গেলে, আপনি W-CMP প্রক্রিয়া ব্যবহার করতে পারেন, যাকে আমরা অপসারণের জন্য যান্ত্রিক গ্রাইন্ডিং প্রক্রিয়া বলি। এটি ভারী তুষারপাতের পরে মেঝে ঝাড়ু দেওয়ার জন্য ঝাড়ু ব্যবহারের অনুরূপ। মাটিতে থাকা তুষার ঝেড়ে ফেলা হয়, কিন্তু মাটিতে থাকা তুষার থাকবে। নিচে, প্রায় একই রকম।
পোস্টের সময়: ডিসেম্বর-২৪-২০২১
