Tungsten hexafluoride (WF6) একটি CVD প্রক্রিয়ার মাধ্যমে ওয়েফারের পৃষ্ঠে জমা হয়, ধাতব আন্তঃসংযোগ পরিখাগুলি পূরণ করে এবং স্তরগুলির মধ্যে ধাতব আন্তঃসংযোগ তৈরি করে।
প্রথমে প্লাজমা সম্পর্কে কথা বলা যাক। প্লাজমা হল পদার্থের একটি রূপ যা প্রধানত মুক্ত ইলেকট্রন এবং চার্জযুক্ত আয়ন দ্বারা গঠিত। এটি মহাবিশ্বে ব্যাপকভাবে বিদ্যমান এবং প্রায়শই এটি পদার্থের চতুর্থ অবস্থা হিসাবে বিবেচিত হয়। একে প্লাজমা অবস্থা বলা হয়, যাকে "প্লাজমা"ও বলা হয়। প্লাজমার উচ্চ বৈদ্যুতিক পরিবাহিতা রয়েছে এবং ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক ফিল্ডের সাথে একটি শক্তিশালী সংযোগ প্রভাব রয়েছে। এটি একটি আংশিকভাবে আয়নিত গ্যাস, যা ইলেকট্রন, আয়ন, ফ্রি র্যাডিক্যাল, নিরপেক্ষ কণা এবং ফোটন দ্বারা গঠিত। রক্তরস নিজেই একটি বৈদ্যুতিক নিরপেক্ষ মিশ্রণ যা শারীরিক এবং রাসায়নিকভাবে সক্রিয় কণা ধারণ করে।
সোজা ব্যাখ্যা হল যে উচ্চ শক্তির ক্রিয়াকলাপের অধীনে, অণুটি ভ্যান ডের ওয়ালস বল, রাসায়নিক বন্ধন বল এবং কুলম্ব বলকে অতিক্রম করবে এবং সামগ্রিকভাবে নিরপেক্ষ বিদ্যুতের একটি রূপ উপস্থাপন করবে। একই সময়ে, বাইরের দ্বারা প্রদত্ত উচ্চ শক্তি উপরের তিনটি শক্তিকে অতিক্রম করে। ফাংশন, ইলেকট্রন এবং আয়ন একটি মুক্ত অবস্থা উপস্থাপন করে, যা একটি চৌম্বক ক্ষেত্রের মডুলেশনের অধীনে কৃত্রিমভাবে ব্যবহার করা যেতে পারে, যেমন সেমিকন্ডাক্টর এচিং প্রক্রিয়া, সিভিডি প্রক্রিয়া, পিভিডি এবং আইএমপি প্রক্রিয়া।
উচ্চ শক্তি কি? তাত্ত্বিকভাবে, উচ্চ তাপমাত্রা এবং উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সি RF উভয়ই ব্যবহার করা যেতে পারে। সাধারণভাবে বলতে গেলে, উচ্চ তাপমাত্রা অর্জন করা প্রায় অসম্ভব। এই তাপমাত্রার প্রয়োজনীয়তা খুব বেশি এবং সূর্যের তাপমাত্রার কাছাকাছি হতে পারে। প্রক্রিয়ায় এটি অর্জন করা মূলত অসম্ভব। অতএব, শিল্প সাধারণত উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি RF ব্যবহার করে এটি অর্জন করে। প্লাজমা RF 13MHz+ পর্যন্ত উচ্চতায় পৌঁছাতে পারে।
টংস্টেন হেক্সাফ্লোরাইড একটি বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের ক্রিয়াকলাপের অধীনে প্লাজমাইজ করা হয় এবং তারপরে একটি চৌম্বক ক্ষেত্রের দ্বারা বাষ্প জমা হয়। W পরমাণু শীতকালীন হংসের পালকের মতো এবং মাধ্যাকর্ষণ শক্তির প্রভাবে মাটিতে পড়ে। ধীরে ধীরে, ডব্লিউ পরমাণুগুলি গর্তের মাধ্যমে জমা হয় এবং অবশেষে ধাতুর আন্তঃসংযোগ তৈরি করতে গর্তের মাধ্যমে পূর্ণ হয়। থ্রু হোলে ডব্লিউ পরমাণু জমা করার পাশাপাশি, সেগুলিও কি ওয়েফারের পৃষ্ঠে জমা হবে? হ্যাঁ, অবশ্যই। সাধারণভাবে বলতে গেলে, আপনি ডাব্লু-সিএমপি প্রক্রিয়া ব্যবহার করতে পারেন, যাকে আমরা অপসারণের জন্য যান্ত্রিক গ্রাইন্ডিং প্রক্রিয়া বলি। এটি ভারী তুষারপাতের পরে মেঝে ঝাড়ু দেওয়ার জন্য ঝাড়ু ব্যবহার করার মতো। মাটির তুষার ভেসে গেলেও মাটির গর্তে বরফ থেকে যাবে। নিচে, মোটামুটি একই.
পোস্টের সময়: ডিসেম্বর-২৪-২০২১
