টুংস্টেন হেক্সাফ্লুওরাইড (ডাব্লুএফ 6) সিভিডি প্রক্রিয়াটির মাধ্যমে ওয়েফারের পৃষ্ঠে জমা হয়, ধাতব আন্তঃসংযোগ খাঁজগুলি পূরণ করে এবং স্তরগুলির মধ্যে ধাতব আন্তঃসংযোগ গঠন করে।
প্রথমে প্লাজমা সম্পর্কে কথা বলা যাক। প্লাজমা মূলত ফ্রি ইলেক্ট্রন এবং চার্জযুক্ত আয়নগুলির সমন্বয়ে গঠিত পদার্থের একটি রূপ। এটি মহাবিশ্বে ব্যাপকভাবে বিদ্যমান এবং প্রায়শই এটি চতুর্থ রাষ্ট্র হিসাবে বিবেচিত হয়। একে প্লাজমা রাজ্য বলা হয়, যাকে "প্লাজমা" বলা হয়। প্লাজমার উচ্চ বৈদ্যুতিক পরিবাহিতা রয়েছে এবং বৈদ্যুতিন চৌম্বকীয় ক্ষেত্রের সাথে একটি শক্তিশালী কাপলিং প্রভাব রয়েছে। এটি একটি আংশিক আয়নযুক্ত গ্যাস, যা ইলেক্ট্রন, আয়ন, ফ্রি র্যাডিকালস, নিরপেক্ষ কণা এবং ফোটনগুলির সমন্বয়ে গঠিত। প্লাজমা নিজেই একটি বৈদ্যুতিকভাবে নিরপেক্ষ মিশ্রণ যা শারীরিকভাবে এবং রাসায়নিকভাবে সক্রিয় কণাগুলি সমন্বিত।
সোজা ব্যাখ্যাটি হ'ল উচ্চ শক্তির ক্রিয়াকলাপের অধীনে অণু ভ্যান ডের ওয়েলস ফোর্স, রাসায়নিক বন্ড ফোর্স এবং কুলম্ব ফোর্সকে কাটিয়ে উঠবে এবং সামগ্রিকভাবে নিরপেক্ষ বিদ্যুতের একটি রূপ উপস্থাপন করবে। একই সময়ে, বাইরের দ্বারা প্রদত্ত উচ্চ শক্তি উপরের তিনটি বাহিনীকে কাটিয়ে উঠেছে। ফাংশন, ইলেক্ট্রন এবং আয়নগুলি একটি নিখরচায় রাষ্ট্র উপস্থাপন করে, যা চৌম্বকীয় ক্ষেত্রের মড্যুলেশনের অধীনে কৃত্রিমভাবে ব্যবহৃত হতে পারে যেমন সেমিকন্ডাক্টর এচিং প্রক্রিয়া, সিভিডি প্রক্রিয়া, পিভিডি এবং আইএমপি প্রক্রিয়া।
উচ্চ শক্তি কি? তত্ত্ব অনুসারে, উচ্চ তাপমাত্রা এবং উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সি আরএফ উভয়ই ব্যবহার করা যেতে পারে। সাধারণভাবে বলতে গেলে, উচ্চ তাপমাত্রা অর্জন করা প্রায় অসম্ভব। এই তাপমাত্রার প্রয়োজনীয়তা খুব বেশি এবং সূর্যের তাপমাত্রার কাছাকাছি হতে পারে। প্রক্রিয়াটি অর্জন করা মূলত অসম্ভব। অতএব, শিল্পটি সাধারণত এটি অর্জনের জন্য উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি আরএফ ব্যবহার করে। প্লাজমা আরএফ 13MHz+এর চেয়ে বেশি উচ্চতায় পৌঁছতে পারে।
টুংস্টেন হেক্সাফ্লুওরাইড বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের ক্রিয়াকলাপের অধীনে প্লাজমাইজ করা হয় এবং তারপরে চৌম্বকীয় ক্ষেত্র দ্বারা বাষ্প-ডিপোজিট হয়। ডাব্লু পরমাণুগুলি শীতের হংস পালকের অনুরূপ এবং মাধ্যাকর্ষণ কর্মের অধীনে মাটিতে পড়ে। আস্তে আস্তে, ডাব্লু পরমাণুগুলি গর্তগুলির মাধ্যমে জমা হয় এবং অবশেষে ধাতব আন্তঃসংযোগ তৈরি করতে গর্তের মাধ্যমে পূর্ণ পূর্ণ হয়। গর্তের মাধ্যমে ডাব্লু পরমাণু জমা দেওয়ার পাশাপাশি এগুলি কি ওয়েফারের পৃষ্ঠে জমা দেওয়া হবে? হ্যাঁ, অবশ্যই। সাধারণভাবে বলতে গেলে, আপনি ডাব্লু-সিএমপি প্রক্রিয়াটি ব্যবহার করতে পারেন, যা আমরা অপসারণের জন্য যান্ত্রিক গ্রাইন্ডিং প্রক্রিয়াটিকে কল করি। এটি ভারী তুষার পরে মেঝে ঝাড়ু জন্য ঝাড়ু ব্যবহারের অনুরূপ। মাটিতে তুষারটি ভেসে গেছে, তবে মাটির গর্তের তুষারটি থাকবে। নিচে, প্রায় একই।
পোস্ট সময়: ডিসেম্বর -24-2021
