আমাদের দেশের অর্ধপরিবাহী শিল্প এবং প্যানেল শিল্প উচ্চ স্তরের সমৃদ্ধি বজায় রাখে। প্যানেল এবং সেমিকন্ডাক্টরগুলির উত্পাদন ও প্রক্রিয়াকরণে একটি অপরিহার্য এবং বৃহত্তম-ভলিউম বিশেষ বৈদ্যুতিন গ্যাস হিসাবে নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইডের একটি বিস্তৃত বাজারের জায়গা রয়েছে।
সাধারণত ব্যবহৃত ফ্লুরিনযুক্ত বিশেষ বৈদ্যুতিন গ্যাস অন্তর্ভুক্তসালফার হেক্সাফ্লুওরাইড (এসএফ 6), টুংস্টেন হেক্সাফ্লুওরাইড (ডাব্লুএফ 6),কার্বন টেট্রাফ্লুরাইড (সিএফ 4), ট্রাইফ্লুওরোমেথেন (সিএইচএফ 3), নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড (এনএফ 3), হেক্সাফ্লুওরোথেন (সি 2 এফ 6) এবং অক্টিফ্লোরোপ্রোপেন (সি 3 এফ 8)। নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড (এনএফ 3) মূলত হাইড্রোজেন ফ্লোরাইড-ফ্লোরাইড গ্যাস উচ্চ-শক্তি রাসায়নিক লেজারগুলির জন্য ফ্লুরিন উত্স হিসাবে ব্যবহৃত হয়। H2-O2 এবং F2 এর মধ্যে প্রতিক্রিয়া শক্তির কার্যকর অংশ (প্রায় 25%) লেজার রেডিয়েশন দ্বারা প্রকাশ করা যেতে পারে, সুতরাং এইচএফ-অফ লেজারগুলি রাসায়নিক লেজারগুলির মধ্যে সর্বাধিক প্রতিশ্রুতিবদ্ধ লেজার।
নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড হ'ল মাইক্রো ইলেক্ট্রনিক্স শিল্পে একটি দুর্দান্ত প্লাজমা এচিং গ্যাস। সিলিকন এবং সিলিকন নাইট্রাইড এচিংয়ের জন্য, নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইডের কার্বন টেট্রাফ্লোরাইডের চেয়ে বেশি এচিং হার এবং নির্বাচনযোগ্যতা এবং কার্বন টেট্রাফ্লোরাইড এবং অক্সিজেনের মিশ্রণ রয়েছে এবং পৃষ্ঠের কোনও দূষণ নেই। বিশেষত 1.5um এর চেয়ে কম বেধের সাথে ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট উপকরণগুলির এচিংয়ে, নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইডের একটি খুব চমৎকার এচিং হার এবং সিলেকটিভিটি রয়েছে, যা এচড অবজেক্টের পৃষ্ঠে কোনও অবশিষ্টাংশ ছাড়েনি, এবং এটি খুব ভাল পরিষ্কারের এজেন্টও। ন্যানো টেকনোলজির বিকাশ এবং ইলেকট্রনিক্স শিল্পের বৃহত আকারের বিকাশের সাথে সাথে এর চাহিদা দিন দিন বাড়বে।
এক ধরণের ফ্লুরিনযুক্ত বিশেষ গ্যাস হিসাবে, নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড (এনএফ 3) বাজারের বৃহত্তম বৈদ্যুতিন বিশেষ গ্যাস পণ্য। এটি ঘরের তাপমাত্রায় রাসায়নিকভাবে জড়, অক্সিজেনের চেয়ে বেশি সক্রিয়, ফ্লুরিনের চেয়ে বেশি স্থিতিশীল এবং উচ্চ তাপমাত্রায় হ্যান্ডেল করা সহজ।
নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড মূলত প্লাজমা এচিং গ্যাস এবং প্রতিক্রিয়া চেম্বার ক্লিনিং এজেন্ট হিসাবে ব্যবহৃত হয়, যেমন সেমিকন্ডাক্টর চিপস, ফ্ল্যাট প্যানেল প্রদর্শন, অপটিক্যাল ফাইবার, ফটোভোলটাইক কোষ ইত্যাদি উত্পাদন ক্ষেত্রের জন্য উপযুক্ত
অন্যান্য ফ্লুরিনযুক্ত ইলেকট্রনিক গ্যাসগুলির সাথে তুলনা করে, নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইডের দ্রুত প্রতিক্রিয়া এবং উচ্চ দক্ষতার সুবিধা রয়েছে, বিশেষত সিলিকনযুক্ত সিলিকন নাইট্রাইডের মতো সিলিকনযুক্ত উপকরণগুলির এচিংয়ে, এটির একটি উচ্চ এচিং হার এবং নির্বাচনযোগ্যতা নেই, এটি কোনও অবশিষ্টাংশের অবশিষ্টাংশের কোনও অবশিষ্টাংশ ছাড়িয়ে যায় এবং এটি একটি খুব ভাল পরিচ্ছন্নতা এবং এটিও খুব ভাল করে দেয় এবং এটি খুব ভাল করে দেয় যা খুব ভাল করে দেয় এবং এটিও খুব ভাল করে দেয় এবং এটিও খুব ভাল করে দেয় এবং এটিও খুব ভাল করে দেয় এবং এটিও খুব ভাল করে দেয় এবং এটিও খুব ভাল করে দেয় এবং এটিও খুব ভাল করে দেয় এবং এটিও খুব ভাল করে দেয় এবং এটিও খুব ভাল করে দেয় এবং এটিও খুব ভাল করে তোলে।
পোস্ট সময়: ডিসেম্বর -26-2024
