আমাদের দেশের সেমিকন্ডাক্টর শিল্প এবং প্যানেল শিল্প উচ্চ স্তরের সমৃদ্ধি বজায় রেখেছে। প্যানেল এবং সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন এবং প্রক্রিয়াকরণে একটি অপরিহার্য এবং বৃহত্তম আয়তনের বিশেষ ইলেকট্রনিক গ্যাস হিসেবে নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইডের বাজার বিস্তৃত।
সাধারণত ব্যবহৃত ফ্লোরিনযুক্ত বিশেষ ইলেকট্রনিক গ্যাসগুলির মধ্যে রয়েছেসালফার হেক্সাফ্লোরাইড (SF6), টাংস্টেন হেক্সাফ্লোরাইড (WF6),কার্বন টেট্রাফ্লোরাইড (CF4), ট্রাইফ্লুরোমিথেন (CHF3), নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড (NF3), হেক্সাফ্লুরোইথেন (C2F6) এবং অক্টাফ্লুরোপ্রোপেন (C3F8)। নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড (NF3) মূলত হাইড্রোজেন ফ্লোরাইড-ফ্লোরাইড গ্যাস উচ্চ-শক্তি রাসায়নিক লেজারের জন্য ফ্লোরিন উৎস হিসেবে ব্যবহৃত হয়। H2-O2 এবং F2 এর মধ্যে বিক্রিয়া শক্তির কার্যকর অংশ (প্রায় 25%) লেজার বিকিরণ দ্বারা নির্গত হতে পারে, তাই রাসায়নিক লেজারগুলির মধ্যে HF-OF লেজারগুলি সবচেয়ে প্রতিশ্রুতিশীল লেজার।
মাইক্রোইলেকট্রনিক্স শিল্পে নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড একটি চমৎকার প্লাজমা এচিং গ্যাস। সিলিকন এবং সিলিকন নাইট্রাইড এচিংয়ের জন্য, নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইডের এচিং হার এবং নির্বাচনযোগ্যতা কার্বন টেট্রাফ্লোরাইড এবং কার্বন টেট্রাফ্লোরাইড এবং অক্সিজেনের মিশ্রণের তুলনায় বেশি এবং পৃষ্ঠে কোনও দূষণ নেই। বিশেষ করে 1.5um এর কম পুরুত্বের ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট উপকরণের এচিংয়ের ক্ষেত্রে, নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইডের একটি খুব চমৎকার এচিং হার এবং নির্বাচনযোগ্যতা রয়েছে, যা খোদাই করা বস্তুর পৃষ্ঠে কোনও অবশিষ্টাংশ রাখে না এবং এটি একটি খুব ভাল পরিষ্কারক এজেন্টও। ন্যানো প্রযুক্তির বিকাশ এবং ইলেকট্রনিক্স শিল্পের বৃহৎ আকারের বিকাশের সাথে সাথে এর চাহিদা দিন দিন বৃদ্ধি পাবে।
ফ্লোরিনযুক্ত বিশেষ গ্যাসের একটি প্রকার হিসেবে, নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড (NF3) হল বাজারের বৃহত্তম ইলেকট্রনিক বিশেষ গ্যাস পণ্য। এটি ঘরের তাপমাত্রায় রাসায়নিকভাবে নিষ্ক্রিয়, অক্সিজেনের চেয়ে বেশি সক্রিয়, ফ্লোরিনের চেয়ে বেশি স্থিতিশীল এবং উচ্চ তাপমাত্রায় পরিচালনা করা সহজ।
নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড প্রধানত প্লাজমা এচিং গ্যাস এবং বিক্রিয়া চেম্বার পরিষ্কারের এজেন্ট হিসেবে ব্যবহৃত হয়, যা সেমিকন্ডাক্টর চিপস, ফ্ল্যাট প্যানেল ডিসপ্লে, অপটিক্যাল ফাইবার, ফটোভোলটাইক কোষ ইত্যাদি উৎপাদন ক্ষেত্রের জন্য উপযুক্ত।
অন্যান্য ফ্লোরিনযুক্ত ইলেকট্রনিক গ্যাসের তুলনায়, নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইডের দ্রুত বিক্রিয়া এবং উচ্চ দক্ষতার সুবিধা রয়েছে, বিশেষ করে সিলিকন নাইট্রাইডের মতো সিলিকনযুক্ত উপকরণের এচিংয়ে, এর উচ্চ এচিং হার এবং নির্বাচনীতা রয়েছে, যা খোদাই করা বস্তুর পৃষ্ঠে কোনও অবশিষ্টাংশ রাখে না, এবং এটি একটি খুব ভাল পরিষ্কারক এজেন্টও, এবং এটি পৃষ্ঠের দূষণকারী নয় এবং প্রক্রিয়াকরণ প্রক্রিয়ার চাহিদা পূরণ করতে পারে।
পোস্টের সময়: ডিসেম্বর-২৬-২০২৪
