আমাদের দেশের সেমিকন্ডাক্টর শিল্প এবং প্যানেল শিল্প উচ্চ স্তরের সমৃদ্ধি বজায় রেখেছে। প্যানেল ও সেমিকন্ডাক্টরের উৎপাদন ও প্রক্রিয়াকরণে একটি অপরিহার্য এবং সর্বাধিক ব্যবহৃত বিশেষ ইলেকট্রনিক গ্যাস হিসেবে নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লুরাইডের একটি বিস্তৃত বাজার রয়েছে।
সাধারণত ব্যবহৃত ফ্লোরিনযুক্ত বিশেষ ইলেকট্রনিক গ্যাসগুলির মধ্যে রয়েছেসালফার হেক্সাফ্লুরাইড (SF6), টাংস্টেন হেক্সাফ্লোরাইড (WF6),কার্বন টেট্রাফ্লুরাইড (CF4)ট্রাইফ্লুরোমিথেন (CHF3), নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লুরাইড (NF3), হেক্সাফ্লুরোইথেন (C2F6) এবং অক্টাফ্লুরোপ্রোপেন (C3F8)। নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লুরাইড (NF3) প্রধানত হাইড্রোজেন ফ্লুরাইড-ফ্লুরাইড গ্যাস উচ্চ-শক্তি রাসায়নিক লেজারের জন্য ফ্লুরিনের উৎস হিসেবে ব্যবহৃত হয়। H2-O2 এবং F2 এর মধ্যে বিক্রিয়া শক্তির কার্যকর অংশ (প্রায় ২৫%) লেজার বিকিরণের মাধ্যমে নির্গত হতে পারে, তাই রাসায়নিক লেজারগুলোর মধ্যে HF-OF লেজারগুলো সবচেয়ে সম্ভাবনাময়।
মাইক্রোইলেকট্রনিক্স শিল্পে নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লুরাইড একটি চমৎকার প্লাজমা এচিং গ্যাস। সিলিকন এবং সিলিকন নাইট্রাইড এচিং করার ক্ষেত্রে, কার্বন টেট্রাফ্লুরাইড এবং কার্বন টেট্রাফ্লুরাইড ও অক্সিজেনের মিশ্রণের তুলনায় নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লুরাইডের এচিং হার এবং সিলেক্টিভিটি বেশি, এবং এটি পৃষ্ঠতলে কোনো দূষণ ঘটায় না। বিশেষ করে ১.৫ মাইক্রোমিটারের কম পুরুত্বের ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট উপাদান এচিং করার ক্ষেত্রে, নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লুরাইডের এচিং হার এবং সিলেক্টিভিটি অত্যন্ত চমৎকার, যা এচিং করা বস্তুর পৃষ্ঠে কোনো অবশিষ্টাংশ রাখে না এবং এটি একটি খুব ভালো পরিষ্কারক পদার্থও বটে। ন্যানোপ্রযুক্তির বিকাশ এবং ইলেকট্রনিক্স শিল্পের ব্যাপক উন্নয়নের সাথে সাথে এর চাহিদা দিন দিন বাড়বে।
এক প্রকার ফ্লোরিন-যুক্ত বিশেষ গ্যাস হিসেবে, নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লুরাইড (NF3) হলো বাজারের বৃহত্তম ইলেকট্রনিক বিশেষ গ্যাস পণ্য। এটি কক্ষ তাপমাত্রায় রাসায়নিকভাবে নিষ্ক্রিয়, অক্সিজেনের চেয়ে বেশি সক্রিয়, ফ্লোরিনের চেয়ে বেশি স্থিতিশীল এবং উচ্চ তাপমাত্রায় সহজে পরিচালনা করা যায়।
নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লুরাইড প্রধানত প্লাজমা এচিং গ্যাস এবং রিঅ্যাকশন চেম্বার ক্লিনিং এজেন্ট হিসেবে ব্যবহৃত হয় এবং এটি সেমিকন্ডাক্টর চিপ, ফ্ল্যাট প্যানেল ডিসপ্লে, অপটিক্যাল ফাইবার, ফটোভোল্টাইক সেল ইত্যাদির মতো উৎপাদন ক্ষেত্রের জন্য উপযুক্ত।
অন্যান্য ফ্লোরিন-যুক্ত ইলেকট্রনিক গ্যাসের তুলনায়, নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লুরাইডের দ্রুত বিক্রিয়া এবং উচ্চ দক্ষতার মতো সুবিধা রয়েছে। বিশেষ করে সিলিকন নাইট্রাইডের মতো সিলিকন-যুক্ত পদার্থের এচিং-এর ক্ষেত্রে, এর এচিং হার এবং নির্বাচন ক্ষমতা অনেক বেশি, এবং এটি এচিং করা বস্তুর পৃষ্ঠে কোনো অবশিষ্টাংশ রাখে না। এটি একটি খুব ভালো পরিষ্কারক পদার্থও বটে, পৃষ্ঠতলের জন্য দূষণমুক্ত এবং প্রক্রিয়াকরণ পদ্ধতির চাহিদা মেটাতে সক্ষম।
পোস্ট করার সময়: ২৬-ডিসেম্বর-২০২৪
