সিলিকন নাইট্রাইড এচিংয়ে সালফার হেক্সাফ্লুরাইডের ভূমিকা

সালফার হেক্সাফ্লুওরাইড হ'ল একটি গ্যাস যা দুর্দান্ত অন্তরক বৈশিষ্ট্যযুক্ত এবং প্রায়শই উচ্চ-ভোল্টেজ অর্ক নিভে যাওয়া এবং ট্রান্সফর্মারগুলিতে ব্যবহৃত হয়, উচ্চ-ভোল্টেজ ট্রান্সমিশন লাইন, ট্রান্সফর্মার ইত্যাদি However তবে এই ফাংশনগুলি ছাড়াও সালফার হেক্সাফ্লুওরাইডকে বৈদ্যুতিন ইটান্ট হিসাবেও ব্যবহার করা যেতে পারে। বৈদ্যুতিন গ্রেড উচ্চ-নির্যাতনের সালফার হেক্সাফ্লোরাইড একটি আদর্শ বৈদ্যুতিন এটান্ট, যা মাইক্রো ইলেক্ট্রনিক্স প্রযুক্তির ক্ষেত্রে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। আজ, এনআইইউ রাইডের বিশেষ গ্যাস সম্পাদক ইউয়েউ সিলিকন নাইট্রাইড এচিংয়ে সালফার হেক্সাফ্লোরাইডের প্রয়োগ এবং বিভিন্ন পরামিতিগুলির প্রভাব প্রবর্তন করবেন।

আমরা এসএফ 6 প্লাজমা এচিং সিএনএক্স প্রক্রিয়াটি নিয়ে আলোচনা করি, প্লাজমা শক্তি পরিবর্তন, এসএফ 6/এইচ এর গ্যাস অনুপাত এবং ক্যাশনিক গ্যাস ও 2 যুক্ত করে, টিএফটি -এর সিএনএক্স উপাদান সুরক্ষা স্তরের এচিং হারের উপর এর প্রভাব নিয়ে আলোচনা করে এবং এসএফ 6/হি/হি -তে প্রতিটি প্রজাতির ঘনত্বের পরিবর্তনগুলি বিশ্লেষণ করে SINX এচিং রেট পরিবর্তন এবং প্লাজমা প্রজাতির ঘনত্বের মধ্যে সম্পর্কের সন্ধান করে।

গবেষণায় দেখা গেছে যে যখন প্লাজমা শক্তি বৃদ্ধি করা হয়, তখন এচিংয়ের হার বৃদ্ধি পায়; যদি প্লাজমাতে এসএফ 6 এর প্রবাহের হার বাড়ানো হয় তবে এফ পরমাণু ঘনত্ব বৃদ্ধি পায় এবং ইতিবাচকভাবে এচিং হারের সাথে সম্পর্কিত হয়। তদ্ব্যতীত, স্থির মোট প্রবাহের হারের অধীনে ক্যাটিনিক গ্যাস ও 2 যুক্ত করার পরে, এটি এচিং হার বাড়ানোর প্রভাব ফেলবে, তবে বিভিন্ন ও 2/এসএফ 6 প্রবাহ অনুপাতের অধীনে বিভিন্ন প্রতিক্রিয়া প্রক্রিয়া থাকবে, যা তিনটি ভাগে বিভক্ত করা যেতে পারে: (1) ও 2/এসএফ 6 প্রবাহের অনুপাতটি যখন এসএফ 6 এর চেয়ে বেশি হয়, এবং ও 2 এর চেয়ে বেশি হয় এবং ও 2 এর সময়টি হয় এবং ও 2 এর চেয়ে বেশি হয়, (২) যখন ও 2/এসএফ 6 প্রবাহের অনুপাতটি 0.2 এর চেয়ে বেশি হয় 1 এ পৌঁছানোর ব্যবধানে, এই সময়ে, এসএফ 6 এর প্রচুর পরিমাণে বিচ্ছিন্নকরণের কারণে এফ পরমাণু গঠনের জন্য, এচিংয়ের হার সর্বোচ্চ; তবে একই সময়ে, প্লাজমাতে ও পরমাণুগুলিও বৃদ্ধি পাচ্ছে এবং সিনেক্স ফিল্মের পৃষ্ঠের সাথে সিওক্স বা সিনেক্সো (ওয়াইএক্স) গঠন করা সহজ, এবং আরও বেশি পরমাণু যত বেশি বৃদ্ধি পায়, এফ পরমাণু তত বেশি কঠিন হবে এচিং প্রতিক্রিয়ার জন্য। অতএব, ও 2/এসএফ 6 অনুপাত 1 এর কাছাকাছি হলে এচিংয়ের হারটি ধীর হতে শুরু করে (3) যখন ও 2/এসএফ 6 অনুপাত 1 এর চেয়ে বেশি হয়, এচিংয়ের হার হ্রাস পায়। ও 2 এর বৃহত্তর বৃদ্ধির কারণে, বিচ্ছিন্ন চ পরমাণুগুলি ও 2 এবং ফর্মের সাথে সংঘর্ষ হয়, যা এফ পরমাণুর ঘনত্বকে হ্রাস করে, যার ফলে এচিং হার হ্রাস পায়। এটি থেকে দেখা যায় যে যখন ও 2 যুক্ত করা হয়, তখন ও 2/এসএফ 6 এর প্রবাহ অনুপাত 0.2 এবং 0.8 এর মধ্যে থাকে এবং সেরা এচিং হার পাওয়া যায়।