সিলিকন নাইট্রাইড এচিংয়ে সালফার হেক্সাফ্লোরাইডের ভূমিকা

সালফার হেক্সাফ্লোরাইড চমৎকার অন্তরক বৈশিষ্ট্য সহ একটি গ্যাস এবং এটি প্রায়শই উচ্চ-ভোল্টেজ আর্ক নির্বাপক এবং ট্রান্সফরমার, উচ্চ-ভোল্টেজ ট্রান্সমিশন লাইন, ট্রান্সফরমার ইত্যাদিতে ব্যবহৃত হয়। যাইহোক, এই ফাংশনগুলি ছাড়াও, সালফার হেক্সাফ্লোরাইড একটি ইলেকট্রনিক এচ্যান্ট হিসাবেও ব্যবহার করা যেতে পারে। .ইলেকট্রনিক গ্রেড উচ্চ-বিশুদ্ধতা সালফার হেক্সাফ্লোরাইড একটি আদর্শ ইলেকট্রনিক এচ্যান্ট, যা মাইক্রোইলেক্ট্রনিক্স প্রযুক্তির ক্ষেত্রে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।আজ, Niu Ruide বিশেষ গ্যাস সম্পাদক Yueyue সিলিকন নাইট্রাইড এচিংয়ে সালফার হেক্সাফ্লোরাইডের প্রয়োগ এবং বিভিন্ন পরামিতির প্রভাব প্রবর্তন করবেন।

আমরা SF6 প্লাজমা এচিং SiNx প্রক্রিয়া নিয়ে আলোচনা করি, যার মধ্যে প্লাজমা পাওয়ার পরিবর্তন, SF6/He-এর গ্যাস অনুপাত এবং cationic গ্যাস O2 যোগ করা, TFT-এর SiNx উপাদান সুরক্ষা স্তরের এচিং হারের উপর এর প্রভাব নিয়ে আলোচনা করা এবং প্লাজমা বিকিরণ ব্যবহার করা। স্পেকট্রোমিটার SF6/He, SF6/He/O2 প্লাজমা এবং SF6 বিচ্ছেদ হারে প্রতিটি প্রজাতির ঘনত্বের পরিবর্তন বিশ্লেষণ করে এবং SiNx এচিং হারের পরিবর্তন এবং প্লাজমা প্রজাতির ঘনত্বের মধ্যে সম্পর্ক অন্বেষণ করে।

গবেষণায় দেখা গেছে যে যখন প্লাজমা শক্তি বৃদ্ধি পায়, তখন এচিং হার বৃদ্ধি পায়;যদি রক্তরসে SF6 এর প্রবাহের হার বাড়ানো হয়, F পরমাণুর ঘনত্ব বৃদ্ধি পায় এবং ইতিবাচকভাবে এচিং হারের সাথে সম্পর্কযুক্ত হয়।উপরন্তু, স্থির মোট প্রবাহ হারের অধীনে ক্যাটানিক গ্যাস O2 যোগ করার পরে, এটি এচিং রেট বাড়ানোর প্রভাব ফেলবে, তবে বিভিন্ন O2/SF6 প্রবাহ অনুপাতের অধীনে, বিভিন্ন প্রতিক্রিয়া প্রক্রিয়া থাকবে, যা তিনটি ভাগে বিভক্ত করা যেতে পারে। : (1 ) O2/SF6 প্রবাহের অনুপাত খুবই ছোট, O2 SF6 এর বিচ্ছিন্নকরণে সাহায্য করতে পারে এবং এই সময়ে এচিং হার যখন O2 যোগ করা হয় না তার চেয়ে বেশি।(2) যখন O2/SF6 প্রবাহ অনুপাত 0.2-এর চেয়ে বেশি ব্যবধান 1-এর কাছাকাছি, এই সময়ে, F পরমাণু গঠনের জন্য SF6-এর বৃহৎ পরিমাণ বিচ্ছিন্নতার কারণে, এচিং হার সর্বোচ্চ হয়;কিন্তু একই সময়ে, প্লাজমাতে O পরমাণুগুলিও বাড়ছে এবং SiNx ফিল্ম পৃষ্ঠের সাথে SiOx বা SiNxO(yx) গঠন করা সহজ, এবং যত বেশি O পরমাণু বৃদ্ধি পাবে, F পরমাণুগুলি তত কঠিন হবে এচিং প্রতিক্রিয়াঅতএব, যখন O2/SF6 অনুপাত 1-এর কাছাকাছি হয় তখন এচিং রেট কমতে শুরু করে। (3) যখন O2/SF6 অনুপাত 1-এর বেশি হয়, তখন এচিং হার কমে যায়।O2 এর বৃহৎ বৃদ্ধির কারণে, বিচ্ছিন্ন F পরমাণুগুলি O2 এবং ফর্ম OF এর সাথে সংঘর্ষে লিপ্ত হয়, যা F পরমাণুর ঘনত্বকে হ্রাস করে, যার ফলে এচিং হার কমে যায়।এটি থেকে দেখা যায় যে যখন O2 যোগ করা হয়, তখন O2/SF6 এর প্রবাহ অনুপাত 0.2 এবং 0.8 এর মধ্যে থাকে এবং সেরা এচিং রেট পাওয়া যায়।