ইলেকট্রনিকবিশেষ গ্যাসবিশেষ গ্যাসের একটি গুরুত্বপূর্ণ শাখা। এগুলি অর্ধপরিবাহী উৎপাদনের প্রায় প্রতিটি লিঙ্কে প্রবেশ করে এবং অতি-বৃহৎ-স্কেল ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট, ফ্ল্যাট প্যানেল ডিসপ্লে ডিভাইস এবং সৌর কোষের মতো ইলেকট্রনিক শিল্পের উৎপাদনের জন্য অপরিহার্য কাঁচামাল।

সেমিকন্ডাক্টর প্রযুক্তিতে, ফ্লোরিনযুক্ত গ্যাস ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। বর্তমানে, বিশ্বব্যাপী ইলেকট্রনিক গ্যাস বাজারে, ফ্লোরিনযুক্ত ইলেকট্রনিক গ্যাস মোট গ্যাসের প্রায় 30%। ইলেকট্রনিক তথ্য উপকরণের ক্ষেত্রে ফ্লোরিনযুক্ত ইলেকট্রনিক গ্যাসগুলি বিশেষ ইলেকট্রনিক গ্যাসের একটি গুরুত্বপূর্ণ উপাদান। এগুলি মূলত পরিষ্কারক এবং এচিং এজেন্ট হিসাবে ব্যবহৃত হয় এবং ডোপান্ট, ফিল্ম-গঠন উপকরণ ইত্যাদি হিসাবেও ব্যবহার করা যেতে পারে। এই নিবন্ধে, লেখক আপনাকে সাধারণ ফ্লোরিনযুক্ত গ্যাসগুলি বোঝার জন্য নিয়ে যাবেন।

ফ্লোরিনযুক্ত গ্যাসগুলি সাধারণত ব্যবহৃত হয়

নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড (NF3): জমা পরিষ্কার এবং অপসারণের জন্য ব্যবহৃত একটি গ্যাস, সাধারণত বিক্রিয়া চেম্বার এবং সরঞ্জামের পৃষ্ঠতল পরিষ্কারের জন্য ব্যবহৃত হয়।

সালফার হেক্সাফ্লোরাইড (SF6): অক্সাইড জমার প্রক্রিয়ায় এবং অন্তরক মাধ্যম পূরণের জন্য অন্তরক গ্যাস হিসেবে ব্যবহৃত একটি ফ্লোরিনেটিং এজেন্ট।

হাইড্রোজেন ফ্লোরাইড (HF): সিলিকন পৃষ্ঠ থেকে অক্সাইড অপসারণ করতে এবং সিলিকন এবং অন্যান্য উপকরণ খোদাই করার জন্য খোদাইকারী হিসেবে ব্যবহৃত হয়।

নাইট্রোজেন ফ্লোরাইড (NF): সিলিকন নাইট্রাইড (SiN) এবং অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড (AlN) এর মতো উপকরণ খোদাই করতে ব্যবহৃত হয়।

ট্রাইফ্লুরোমিথেন (CHF3) এবংটেট্রাফ্লুরোমিথেন (CF4): সিলিকন ফ্লোরাইড এবং অ্যালুমিনিয়াম ফ্লোরাইডের মতো ফ্লোরাইড পদার্থ খোদাই করতে ব্যবহৃত হয়।

তবে, ফ্লোরিনযুক্ত গ্যাসগুলির কিছু বিপদ রয়েছে, যার মধ্যে রয়েছে বিষাক্ততা, ক্ষয়কারীতা এবং দাহ্যতা।

বিষাক্ততা

কিছু ফ্লোরিনযুক্ত গ্যাস বিষাক্ত, যেমন হাইড্রোজেন ফ্লোরাইড (HF), যার বাষ্প ত্বক এবং শ্বাসযন্ত্রের জন্য অত্যন্ত জ্বালাকর এবং মানব স্বাস্থ্যের জন্য ক্ষতিকর।

ক্ষয়কারকতা

হাইড্রোজেন ফ্লোরাইড এবং কিছু ফ্লোরাইড অত্যন্ত ক্ষয়কারী এবং ত্বক, চোখ এবং শ্বাসযন্ত্রের ট্র্যাক্টের মারাত্মক ক্ষতি করতে পারে।

জ্বলনযোগ্যতা

কিছু ফ্লোরাইড দাহ্য এবং বাতাসে অক্সিজেন বা জলের সাথে বিক্রিয়া করে তীব্র তাপ এবং বিষাক্ত গ্যাস নির্গত করে, যা আগুন বা বিস্ফোরণের কারণ হতে পারে।

উচ্চ চাপের ঝুঁকি

কিছু ফ্লোরিনেটেড গ্যাস উচ্চ চাপে বিস্ফোরক হয় এবং ব্যবহার এবং সংরক্ষণের সময় বিশেষ যত্নের প্রয়োজন হয়।

পরিবেশের উপর প্রভাব

ফ্লোরিনযুক্ত গ্যাসগুলির বায়ুমণ্ডলীয় জীবনকাল এবং GWP মান উচ্চ, যা বায়ুমণ্ডলীয় ওজোন স্তরের উপর ধ্বংসাত্মক প্রভাব ফেলে এবং বিশ্ব উষ্ণায়ন এবং পরিবেশ দূষণের কারণ হতে পারে।

ইলেকট্রনিক্সের মতো উদীয়মান ক্ষেত্রগুলিতে গ্যাসের প্রয়োগ ক্রমাগত বৃদ্ধি পাচ্ছে, যার ফলে শিল্প গ্যাসের চাহিদা বাড়ছে। আগামী কয়েক বছরে চীনের মূল ভূখণ্ডে সেমিকন্ডাক্টর এবং ডিসপ্লে প্যানেলের মতো প্রধান ইলেকট্রনিক উপাদানগুলির বিপুল পরিমাণে নতুন উৎপাদন ক্ষমতা এবং ইলেকট্রনিক রাসায়নিক পদার্থের আমদানি প্রতিস্থাপনের জোরালো চাহিদার উপর ভিত্তি করে, দেশীয় ইলেকট্রনিক গ্যাস শিল্প উচ্চ প্রবৃদ্ধির হারের সূচনা করবে।