ইলেকট্রনিকবিশেষ গ্যাসবিশেষ গ্যাসের একটি গুরুত্বপূর্ণ শাখা। তারা সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনের প্রায় প্রতিটি লিঙ্কে প্রবেশ করে এবং ইলেকট্রনিক শিল্প যেমন আল্ট্রা-লার্জ-স্কেল ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট, ফ্ল্যাট প্যানেল ডিসপ্লে ডিভাইস এবং সৌর কোষগুলির উত্পাদনের জন্য অপরিহার্য কাঁচামাল।

সেমিকন্ডাক্টর প্রযুক্তিতে, ফ্লোরিনযুক্ত গ্যাসগুলি ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। বর্তমানে, বৈশ্বিক ইলেকট্রনিক গ্যাস বাজারে, ফ্লোরিনযুক্ত ইলেকট্রনিক গ্যাসগুলি মোটের প্রায় 30%। ফ্লোরিনযুক্ত ইলেকট্রনিক গ্যাস ইলেকট্রনিক তথ্য সামগ্রীর ক্ষেত্রে বিশেষ ইলেকট্রনিক গ্যাসের একটি গুরুত্বপূর্ণ উপাদান। এগুলি প্রধানত ক্লিনিং এজেন্ট এবং এচিং এজেন্ট হিসাবে ব্যবহৃত হয় এবং ডোপ্যান্ট, ফিল্ম-গঠন উপকরণ ইত্যাদি হিসাবেও ব্যবহার করা যেতে পারে। এই নিবন্ধে, লেখক আপনাকে সাধারণ ফ্লোরিন-ধারণকারী গ্যাসগুলি বুঝতে নিয়ে যাবেন।

নিম্নলিখিতগুলি সাধারণত ব্যবহৃত ফ্লোরিনযুক্ত গ্যাস

নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লুরাইড (NF3): আমানত পরিষ্কার এবং অপসারণের জন্য ব্যবহৃত একটি গ্যাস, সাধারণত প্রতিক্রিয়া চেম্বার এবং সরঞ্জামের পৃষ্ঠতল পরিষ্কার করার জন্য ব্যবহৃত হয়।

সালফার হেক্সাফ্লোরাইড (SF6): একটি ফ্লোরিনেটিং এজেন্ট অক্সাইড জমা প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত হয় এবং অন্তরক মিডিয়া ভর্তি করার জন্য একটি অন্তরক গ্যাস হিসাবে।

হাইড্রোজেন ফ্লোরাইড (HF): সিলিকন পৃষ্ঠ থেকে অক্সাইড অপসারণ করতে এবং সিলিকন এবং অন্যান্য উপকরণ এচিং করার জন্য একটি এচ্যান্ট হিসাবে ব্যবহৃত হয়।

নাইট্রোজেন ফ্লোরাইড (NF): সিলিকন নাইট্রাইড (SiN) এবং অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড (AlN) এর মতো উপাদান খোদাই করতে ব্যবহৃত হয়।

ট্রাইফ্লুরোমেথেন (CHF3) এবংটেট্রাফ্লুরোমেথেন (CF4): সিলিকন ফ্লোরাইড এবং অ্যালুমিনিয়াম ফ্লোরাইডের মতো ফ্লোরাইড সামগ্রী খোদাই করতে ব্যবহৃত হয়।

যাইহোক, ফ্লোরিনযুক্ত গ্যাসগুলির কিছু বিপদ রয়েছে, যার মধ্যে রয়েছে বিষাক্ততা, ক্ষয়কারীতা এবং জ্বলনযোগ্যতা।

বিষাক্ততা

কিছু ফ্লোরিনযুক্ত গ্যাস বিষাক্ত, যেমন হাইড্রোজেন ফ্লোরাইড (HF), যার বাষ্প ত্বক এবং শ্বাসযন্ত্রের জন্য অত্যন্ত বিরক্তিকর এবং মানব স্বাস্থ্যের জন্য ক্ষতিকারক।

ক্ষয়কারীতা

হাইড্রোজেন ফ্লোরাইড এবং কিছু ফ্লোরাইড অত্যন্ত ক্ষয়কারী এবং ত্বক, চোখ এবং শ্বাসতন্ত্রের মারাত্মক ক্ষতি করতে পারে।

জ্বলনযোগ্যতা

কিছু ফ্লোরাইড দাহ্য এবং তীব্র তাপ ও ​​বিষাক্ত গ্যাস নির্গত করতে বাতাসে অক্সিজেন বা পানির সাথে বিক্রিয়া করে, যা আগুন বা বিস্ফোরণ ঘটাতে পারে।

উচ্চ চাপের বিপদ

কিছু ফ্লোরিনেটেড গ্যাস উচ্চ চাপে বিস্ফোরক হয় এবং ব্যবহার ও সংরক্ষণ করার সময় বিশেষ যত্নের প্রয়োজন হয়।

পরিবেশের উপর প্রভাব

ফ্লোরিনযুক্ত গ্যাসগুলির উচ্চ বায়ুমণ্ডলীয় জীবনকাল এবং GWP মান রয়েছে, যা বায়ুমণ্ডলীয় ওজোন স্তরের উপর ধ্বংসাত্মক প্রভাব ফেলে এবং বিশ্ব উষ্ণায়ন এবং পরিবেশ দূষণের কারণ হতে পারে।

ইলেকট্রনিক্সের মতো উদীয়মান ক্ষেত্রগুলিতে গ্যাসের প্রয়োগ গভীরতর হতে থাকে, যা শিল্প গ্যাসের জন্য প্রচুর পরিমাণে নতুন চাহিদা নিয়ে আসে। আগামী কয়েক বছরের মধ্যে চীনের মূল ভূখণ্ডে সেমিকন্ডাক্টর এবং ডিসপ্লে প্যানেলের মতো প্রধান ইলেকট্রনিক উপাদানগুলির বিপুল পরিমাণে নতুন উত্পাদন ক্ষমতা এবং সেইসাথে ইলেকট্রনিক রাসায়নিক পদার্থের আমদানি প্রতিস্থাপনের জোরালো চাহিদার উপর ভিত্তি করে, গার্হস্থ্য ইলেকট্রনিক গ্যাস শিল্পের সূচনা হবে। একটি উচ্চ বৃদ্ধির হার।