ইলেকট্রনিকবিশেষ গ্যাসবিশেষ গ্যাসসমূহের একটি গুরুত্বপূর্ণ শাখা হলো এগুলি। সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের প্রায় প্রতিটি ধাপে এগুলির ব্যবহার রয়েছে এবং অতি-বৃহৎ-মাপের ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট, ফ্ল্যাট প্যানেল ডিসপ্লে ডিভাইস এবং সৌর কোষের মতো ইলেকট্রনিক শিল্পের উৎপাদনের জন্য এগুলি অপরিহার্য কাঁচামাল।

সেমিকন্ডাক্টর প্রযুক্তিতে ফ্লোরিনযুক্ত গ্যাস ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। বর্তমানে, বিশ্বব্যাপী ইলেকট্রনিক গ্যাসের বাজারে ফ্লোরিনযুক্ত ইলেকট্রনিক গ্যাস মোটের প্রায় ৩০% দখল করে আছে। ইলেকট্রনিক তথ্য উপকরণের ক্ষেত্রে ফ্লোরিনযুক্ত ইলেকট্রনিক গ্যাস হলো বিশেষ ইলেকট্রনিক গ্যাসের একটি গুরুত্বপূর্ণ উপাদান। এগুলো প্রধানত ক্লিনিং এজেন্ট এবং এচিং এজেন্ট হিসেবে ব্যবহৃত হয় এবং ডোপ্যান্ট, ফিল্ম-গঠনকারী উপাদান ইত্যাদি হিসেবেও ব্যবহার করা যেতে পারে। এই প্রবন্ধে, লেখক আপনাকে সাধারণ ফ্লোরিনযুক্ত গ্যাসগুলো সম্পর্কে ধারণা দেবেন।

নিম্নলিখিতগুলি সাধারণত ব্যবহৃত ফ্লোরিনযুক্ত গ্যাস।

নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লুরাইড (NF3): একটি গ্যাস যা পরিষ্কার এবং জমাট বাঁধা পদার্থ অপসারণের জন্য ব্যবহৃত হয়, সাধারণত বিক্রিয়া প্রকোষ্ঠ এবং যন্ত্রপাতির পৃষ্ঠতল পরিষ্কার করার জন্য ব্যবহার করা হয়।

সালফার হেক্সাফ্লুরাইড (SF6)অক্সাইড অধঃক্ষেপণ প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত একটি ফ্লোরিনেটিং এজেন্ট এবং অন্তরক মাধ্যম পূরণের জন্য অন্তরক গ্যাস হিসেবে ব্যবহৃত হয়।

হাইড্রোজেন ফ্লোরাইড (HF): সিলিকন পৃষ্ঠ থেকে অক্সাইড অপসারণ করতে এবং সিলিকন ও অন্যান্য পদার্থ এচিং করার জন্য এচ্যান্ট হিসেবে ব্যবহৃত হয়।

নাইট্রোজেন ফ্লোরাইড (NF): সিলিকন নাইট্রাইড (SiN) এবং অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড (AlN)-এর মতো পদার্থ খোদাই করতে ব্যবহৃত হয়।

ট্রাইফ্লুরোমিথেন (CHF3) এবংটেট্রাফ্লুরোমিথেন (CF4)সিলিকন ফ্লোরাইড এবং অ্যালুমিনিয়াম ফ্লোরাইডের মতো ফ্লোরাইড পদার্থ খোদাই করতে ব্যবহৃত হয়।

তবে, ফ্লোরিনযুক্ত গ্যাসগুলোর কিছু নির্দিষ্ট বিপদ রয়েছে, যার মধ্যে বিষাক্ততা, ক্ষয়কারিতা এবং দাহ্যতা অন্যতম।

বিষাক্ততা

কিছু ফ্লোরিনযুক্ত গ্যাস বিষাক্ত, যেমন হাইড্রোজেন ফ্লোরাইড (HF), যার বাষ্প ত্বক ও শ্বাসতন্ত্রের জন্য অত্যন্ত উত্তেজক এবং মানব স্বাস্থ্যের জন্য ক্ষতিকর।

ক্ষয়কারিতা

হাইড্রোজেন ফ্লোরাইড ও কিছু ফ্লোরাইড অত্যন্ত ক্ষয়কারী এবং ত্বক, চোখ ও শ্বাসতন্ত্রের গুরুতর ক্ষতি করতে পারে।

দাহ্যতা

কিছু ফ্লোরাইড দাহ্য এবং বাতাসে থাকা অক্সিজেন বা জলের সাথে বিক্রিয়া করে তীব্র তাপ ও ​​বিষাক্ত গ্যাস নির্গত করে, যা আগুন বা বিস্ফোরণের কারণ হতে পারে।

উচ্চ-চাপের ঝুঁকি

কিছু ফ্লোরিনেটেড গ্যাস উচ্চ চাপে বিস্ফোরক প্রকৃতির হয় এবং এগুলোর ব্যবহার ও সংরক্ষণের সময় বিশেষ সতর্কতা প্রয়োজন।

পরিবেশের উপর প্রভাব

ফ্লোরিনযুক্ত গ্যাসগুলির বায়ুমণ্ডলে দীর্ঘস্থায়ীত্ব এবং বৈশ্বিক উষ্ণায়ন মান (GWP) অনেক বেশি, যা বায়ুমণ্ডলীয় ওজোন স্তরের উপর ধ্বংসাত্মক প্রভাব ফেলে এবং বৈশ্বিক উষ্ণায়ন ও পরিবেশ দূষণের কারণ হতে পারে।

ইলেকট্রনিক্সের মতো উদীয়মান ক্ষেত্রগুলিতে গ্যাসের প্রয়োগ ক্রমাগত গভীরতর হচ্ছে, যা শিল্প গ্যাসের জন্য বিপুল পরিমাণ নতুন চাহিদা তৈরি করছে। আগামী কয়েক বছরে চীনের মূল ভূখণ্ডে সেমিকন্ডাক্টর এবং ডিসপ্লে প্যানেলের মতো প্রধান ইলেকট্রনিক উপাদানগুলির বিপুল নতুন উৎপাদন ক্ষমতা এবং ইলেকট্রনিক রাসায়নিক উপকরণের আমদানি প্রতিস্থাপনের প্রবল চাহিদার উপর ভিত্তি করে, দেশীয় ইলেকট্রনিক গ্যাস শিল্প একটি উচ্চ প্রবৃদ্ধির হার অর্জন করবে।