শুকনো এচিংয়ে সাধারণত ব্যবহৃত ইচিং গ্যাসগুলি কী কী?

শুকনো এচিং প্রযুক্তি অন্যতম মূল প্রক্রিয়া। শুকনো এচিং গ্যাস সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ের একটি মূল উপাদান এবং প্লাজমা এচিংয়ের জন্য একটি গুরুত্বপূর্ণ গ্যাস উত্স। এর কার্যকারিতা সরাসরি চূড়ান্ত পণ্যের গুণমান এবং কার্য সম্পাদনকে প্রভাবিত করে। এই নিবন্ধটি মূলত শুকনো এচিং প্রক্রিয়াতে সাধারণত ব্যবহৃত ইচিং গ্যাসগুলি কী তা ভাগ করে দেয়।

ফ্লুরিন-ভিত্তিক গ্যাস: যেমনকার্বন টেট্রাফ্লুরাইড (সিএফ 4), হেক্সাফ্লুওরোথেন (সি 2 এফ 6), ট্রাইফ্লোরোমেথেন (সিএইচএফ 3) এবং পারফ্লুওরোপ্রোপেন (সি 3 এফ 8)। সিলিকন এবং সিলিকন যৌগগুলি এচিং করার সময় এই গ্যাসগুলি কার্যকরভাবে উদ্বায়ী ফ্লোরাইড তৈরি করতে পারে, যার ফলে উপাদান অপসারণ অর্জন হয়।

ক্লোরিন ভিত্তিক গ্যাস: যেমন ক্লোরিন (সিএল 2),বোরন ট্রাইক্লোরাইড (বিসিএল 3)এবং সিলিকন টেট্রাক্লোরাইড (এসআইসিএল 4)। ক্লোরিন-ভিত্তিক গ্যাসগুলি এচিং প্রক্রিয়া চলাকালীন ক্লোরাইড আয়ন সরবরাহ করতে পারে, যা এচিংয়ের হার এবং নির্বাচনকে উন্নত করতে সহায়তা করে।

ব্রোমিন-ভিত্তিক গ্যাস: যেমন ব্রোমিন (বিআর 2) এবং ব্রোমিন আয়োডাইড (আইবিআর)। ব্রোমিন-ভিত্তিক গ্যাসগুলি নির্দিষ্ট এচিং প্রক্রিয়াগুলিতে আরও ভাল এচিং পারফরম্যান্স সরবরাহ করতে পারে, বিশেষত যখন সিলিকন কার্বাইডের মতো শক্ত উপকরণগুলি এচিং করা।

নাইট্রোজেন-ভিত্তিক এবং অক্সিজেন-ভিত্তিক গ্যাস: যেমন নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড (এনএফ 3) এবং অক্সিজেন (ও 2)। এই গ্যাসগুলি সাধারণত এচিংয়ের নির্বাচনীতা এবং দিকনির্দেশনা উন্নত করতে এচিং প্রক্রিয়াতে প্রতিক্রিয়া শর্তগুলি সামঞ্জস্য করতে ব্যবহৃত হয়।

এই গ্যাসগুলি প্লাজমা এচিংয়ের সময় শারীরিক স্পটারিং এবং রাসায়নিক বিক্রিয়াগুলির সংমিশ্রণের মাধ্যমে উপাদান পৃষ্ঠের সুনির্দিষ্ট এচিং অর্জন করে। এচিং গ্যাসের পছন্দটি এচিংয়ের জন্য উপাদানের ধরণ, এচিংয়ের নির্বাচনের প্রয়োজনীয়তা এবং কাঙ্ক্ষিত এচিং হারের উপর নির্ভর করে।