ড্রাই এচিং প্রযুক্তি অন্যতম প্রধান একটি প্রক্রিয়া। সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে ড্রাই এচিং গ্যাস একটি মূল উপাদান এবং প্লাজমা এচিং-এর জন্য একটি গুরুত্বপূর্ণ গ্যাস উৎস। এর কার্যকারিতা চূড়ান্ত পণ্যের গুণমান এবং কর্মক্ষমতাকে সরাসরি প্রভাবিত করে। এই নিবন্ধে প্রধানত ড্রাই এচিং প্রক্রিয়ায় সাধারণত ব্যবহৃত এচিং গ্যাসগুলো নিয়ে আলোচনা করা হয়েছে।
ফ্লোরিন-ভিত্তিক গ্যাস: যেমনকার্বন টেট্রাফ্লুরাইড (CF4)হেক্সাফ্লুরোইথেন (C2F6), ট্রাইফ্লুরোমিথেন (CHF3) এবং পারফ্লুরোপ্রোপেন (C3F8)। এই গ্যাসগুলি সিলিকন এবং সিলিকন যৌগগুলিকে এচিং করার সময় কার্যকরভাবে উদ্বায়ী ফ্লুরাইড তৈরি করতে পারে, যার ফলে উপাদান অপসারণ সাধিত হয়।
ক্লোরিন-ভিত্তিক গ্যাস: যেমন ক্লোরিন (Cl2),বোরন ট্রাইক্লোরাইড (BCl3)এবং সিলিকন টেট্রাক্লোরাইড (SiCl4)। ক্লোরিন-ভিত্তিক গ্যাসসমূহ এচিং প্রক্রিয়ার সময় ক্লোরাইড আয়ন সরবরাহ করতে পারে, যা এচিং-এর হার এবং নির্বাচন ক্ষমতা উন্নত করতে সাহায্য করে।
ব্রোমিন-ভিত্তিক গ্যাস: যেমন ব্রোমিন (Br2) এবং ব্রোমিন আয়োডাইড (IBr)। নির্দিষ্ট কিছু এচিং প্রক্রিয়ায়, বিশেষ করে সিলিকন কার্বাইডের মতো কঠিন পদার্থ এচিং করার সময়, ব্রোমিন-ভিত্তিক গ্যাস উন্নততর এচিং কার্যকারিতা প্রদান করতে পারে।
নাইট্রোজেন-ভিত্তিক এবং অক্সিজেন-ভিত্তিক গ্যাস: যেমন নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লুরাইড (NF3) এবং অক্সিজেন (O2)। এই গ্যাসগুলি সাধারণত এচিং প্রক্রিয়ায় বিক্রিয়ার শর্তাবলী সামঞ্জস্য করতে ব্যবহৃত হয়, যাতে এচিং-এর নির্বাচনশীলতা এবং দিকনির্দেশনা উন্নত করা যায়।
প্লাজমা এচিং চলাকালীন এই গ্যাসগুলো ভৌত স্পাটারিং এবং রাসায়নিক বিক্রিয়ার সমন্বয়ে পদার্থের পৃষ্ঠতলের সুনির্দিষ্ট এচিং সম্পন্ন করে। এচিং গ্যাসের নির্বাচন নির্ভর করে কী ধরনের পদার্থ এচিং করা হবে, এচিং-এর জন্য প্রয়োজনীয় নির্বাচন ক্ষমতা এবং কাঙ্ক্ষিত এচিং হারের উপর।
পোস্ট করার সময়: ০৮-০২-২০২৫
